PVD开发基础讲义.ppt

PVD技朮簡介;報告大綱;1.PVD介紹;2.PVD原理; 氬氣在電場作用下被離化同時被加速, 向加有負 電壓的靶面飛去, 轰击靶材表面，引起靶材表面各种 粒子，如原子、分子或团束逸出即產生溅射。溅出的 中性原子與真空腔內同時被離化的氣體粒子反應而沉 积到工件表面上，於是形成了一定厚度的膜层。;第一步氣體離化;第二步 濺射;第三步 反應成膜;;4. PVD設備 4.1 清洗線;: 工件;T1;设备;4 PVD技術魚骨圖;5. PVD檢驗規範一覽表;6.材質要求; 高金屬質感和艷麗飽滿的色彩效果 優異的功能性(與基材的良好結合﹐高的硬度和耐磨性等) 底材選擇的多樣化(如不鏽鋼﹐鈦合金﹐甚至鋁合金) 制程的良好的穩定性和再現性 適應現代環保潮流;8.真空技术的应用领域;9.真空镀膜技术在富士康的应用;PVD產品展示;二.PVD工藝流程;;為什麼要清洗？清洗的效果有什麼影響？ 清洗效果的好壞,直接關系到金屬表面防護層的附著力,可保証涂層不脫落,不起泡,不產生裂紋,保証防銹封存,表面改性,轉化膜質量,是后續工序順利進行不可少的工序.而清洗效果又與清洗工藝密不可分,如何有效而合理地制定清洗工藝,將是整個清洗效果的至關因素.;清洗流程介紹;清洗---上挂;清洗---除蠟;超聲波清洗原理 超聲波是利用超聲波空化沖擊效益.由超聲波發振箱發出高頻高壓振蕩信號,經換能器巒換為機械振動傳入到清洗介質中去.以連續不斷的方式產生幅射狀連續傳播的超聲波束,它在介質中傳播時會產生成千上萬個負壓小氣泡,這些小氣泡在一定壓力下,在清洗物體表面形成一連串密集的爆炸,不斷沖擊被清洗物體的表面,包括穿透到被清洗物的另一側面,以及所有侵入介質中的內腔,盲孔,狹縫將清洗物表面附著的污垢剝落,達到完美的清洗效果。;超聲波振頻的調整 超聲波清洗主要靠空穴的作用,聲學參數和清洗液的物理化學性質.但是影響產生空穴的主要因素有哪些呢: 1.超聲波聲強(聲壓).在液體中只有交奕聲壓幅值超過靜壓力時才出現負壓,而負壓要超過液體強度才產生空穴,使液體產生空穴的最低聲強為空化閥.聲強的選擇1~2W/Cm2,當聲強增加時,空化強度也增大,同時,空穴的數量也增加,有利于清洗. 2.超聲波的頻率20~50khz內,當頻率較小時,噪音較大. 3.液體表面張力大,則空穴崩潰時釋放的能量也大; 但如何選擇超聲波強度,將是一個至關重要的問題,聲波強度太大,將腐蝕材料基體，對材料產生蝕點，超聲波強度太弱，又達不到清洗效果.以鋁材為例:鋁合金是一種有色金屬,密度是2.7g/cm3,它在頻率為28khz以上的超聲波內清洗時,材料表面將會產生蝕點(白點).但對于鈦合金來說,又不一樣,鈦合金密度為4.5g/cm3,介于鋁和鋼(7.8g/cm3)之間,它在48khz的超聲波下也很難產生蝕點.因此,對于各種不同型號的材料來說,應嚴格分析其物理化學性能,采用不同頻率的超聲波,以期達到完美的清洗效果. 超聲波是由主機箱,超聲波換能器,振蕩子三部分組成,振蕩子振動形式可分為底式發振,側式發振等.;3#軟水槽清洗;鹼液清洗原理 由于在整個清洗生產中,主要是鹼液脫脂清洗,同時配合超聲波振動,使金屬表面淨化.鹼液脫脂以其價格低,化學危害性小而被廣泛采用.因此,下面著重介紹一下鹼液清洗時的一些基礎知識.鹼液清洗又稱化學除油或化學脫脂. 鹼液清洗的目的是去除油污,油污的主要成份是各種動植物油脂和礦物油,它們按其性質不同可分為皂化油和非皂化油. 皂化油-能與鹼反應生成肥皂的油脂,如各種動植物油脂,其成份甘油三脂肪酸酯, 油脂不溶於水,生成脂皂后能溶於水且從被處理的表面上除去. 非皂化油-不與鹼起化學反應的礦物油，如潤滑油，凡士林等，但可加入表面活性物質如硅酸鈉等，特別是表面活性劑，如OP-10乳化劑等非皂化油轉化為乳化液而除去.;化學除油溶液成分及其工藝條件 氫氧化鈉(NaOH):氫氧化鈉在化學除油中起重要作用,且消耗量大,當含鹼量低,PH值小于10.5時,硬脂酸鈉發生水解,除油效果降低;濃度太高又會使硬脂酸鈉等表面活性劑溶解度降低,同時也使零件水洗性巒差.對于鋼鐵零件的除油液來說,氫氧化鈉的含量范圍較寬,對于有色金屬零件來講,可以不加或少加氫氧化鈉,以免造成腐蝕. 碳酸鈉(NaCO3):它是除油溶液的良好緩蝕劑,當PH值降低時發生水解,生成的氫氧化鈉可以保持