PSD233型位置敏感元件的特性及其在AFM中的应用.pdfVIP

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2017-04-25 发布于北京
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PSD233型位置敏感元件的特性及其在AFM中的应用.pdf

第 22 卷第 5 期红外与毫米波学报 VoI. 22，No. 5 2003 年 10 月 J. Infrared MiIIim. Waves October，2003 PSD233 型位置敏感元件的特性及其在 AFM 中的应用张冬仙章海军林晓峰（浙江大学光电系，现代光学仪器国家重点实验室，浙江，杭州，310027）摘要给出了自制的 3mm X 3mm 位置敏感元件（PSD）的光谱响应特性，覆盖从紫外光、可见光到红外光（320 ~ 1150nm）的广阔区域. 采用光束偏转法对其时间响应特性和位置敏感特性进行测定. 阐述了 PSD 在卧式原子力显微镜（AFM）系统中的应用，介绍了卧式 AFM 的工作原理和控制系统，提供了部分样品的 AFM 扫描图像. 结果表明，该 AFM 系统具有较高的成像效率以及良好的工作稳定性、图像重复性和对比度，系统的最大扫描范围为 5!m X 5!m，分辨率达到 1nm 量级，表明 PSD 在光谱响应、时间响应和位置敏感特性等方面具有优良性能. 关键词 PSD，光谱响应，AFM，纳米技术. CHARACTERISTICS OF PSD233 POSITION SENSITIVE DETECTOR AND ITS APPLICATION IN ATOMIC FORCE MICROSCOPE ZHANG Dong-xian ZHANG Hai-Jun LIN xiao-Feng （Satate Key Laboratory of Modern OpticaI Instrumentation，Department of OpticaI Engineering， Zhejiang University，Hangzhou，Zhejiang 310027，China） Abstract The spectraI response of 3mm X 3mm position sensitive detector（ PSD）covering a wide spectraI range from 320nm to 1150nm. The beam defIection method was empIoyed to determine the temporaI response and position sensitive properties of the PSD. As an appIication of the PSD，we deveIoped a horizontaI atomic force microscop（e AFM），introduced the basic concept and controIIing system of the AFM，and presented some sampIe images scanned