Heliot 系列技术交流会(2009.10.pdfVIP

Heliot系列技术交流会 氦质谱检漏仪（一般基础） 爱发科商贸（上海）有限公司 ULVAC (SHANGHAI)CO.,LTD1 主要内容 1.Heliot系列的概述 2 H li t的结构及排气系统. e o 3.分析管的原理 4.校正时感度的计算方法 5.Heliot相关的保养项目 6 真空法和吸枪法的特点和相关介绍. ULVAC (SHANGHAI)CO.,LTD2 选用Ｈｅ的理 由 无毒，无污染 对人体，环境无影响 化学性质稳定 惰性气体 直分子 径小 穿透能力强 吸附能力低 对测量本底影响小 不燃空气中含量低 安全性好对测量的影响小 ULVAC (SHANGHAI)CO.,LTD 1. 检漏仪系列 ULVAC检漏仪系列 100系列 700系列300系列 HELIOT利用磁场偏转型质量分析计的原理、进行氦检 测的氦气质谱检漏仪。以具有自动流量选择功能的专用排 气系统为基础设计 具有全自动 情报量丰富操作方便等 ULVAC (SHANGHAI)CO.,LTD ； 、 特征。 2.Heliot700的结构 目前为止Heliot700系列有701、702(A、B)、704 、706、710（新 品）；其排气系统采用分析管 复合分子泵等Heliot专用设计的排气、 组件。因此可以实现自由选择流量排气形式，达到最大接触压力 1200Pa、灵敏度范围可达10-13-10-3Pa.m3/S的性能。 内部主要组成部件有：前级泵 分子泵 阀座（电磁阀）分析管、 、 、 离子源、放大器电板、各控制电路板等。其优点是全自动、自动感度 校正；体积小；便于微漏的检测；触摸屏控制、操作简单。 ULVAC (SHANGHAI)CO.,LTD 2.1Heliot700系列分类 701 704 706 710（新）702 ULVAC (SHANGHAI)CO.,LTD 2.1.1ＨＥＬＩＯＴ７０１ ＴＰ ＡＮＡ 真空法标准机 ３０１ ＴＰ３的替换品 ＣＬ ＴＶＶ ＴＶ１ ＣＬＶ 、 ＴＭＰ ＦＶ ＴＶ２ ＶＶ ＰＩＧＦＶＶ ＴＶ３ ＦＰ ULVAC (SHANGHAI)CO.,LTD7 2 1 2ＨＥＬＩＯＴ ７０2 吸枪法＆真空法兼用機 . . ＳＰ ＳＰ Ａ型高感度 0.0E-8Pa.m3/S ＭＳ ＭＰＡＮＡ ＣＬ ＴＰ ＡＮＡ ＴＰ Ｂ型大流量 0.0E-6Pa.m3/S ＴＭＰ ＴＶＶ ＴＶ２ ＴＶ１ ＶＶ ＣＬＶ ＴＭＰ ＣＬ ＴＶＶ ＴＶ２ ＴＶ１ ＶＶ ＣＬＶ ＰＩＧＦＶＶ ＦＶ ＴＶ３ ＰＩＧＦＶＶ ＦＶ ＴＶ３ ＦＰＦＰ ULVAC (SHANGHAI)CO.,LTD8 2.1.3ＨＥＬＩＯＴ ７０４ ＡＮＡ ＴＰ ＣＬ 真空法专用机 提高排气量 ＴＶＶ ＴＶ２ ＴＶ１ ＶＶ ＣＬＶ 304的替代品 ＴＭＰ ＦＶ ＰＩＧＦＶＶ ＴＶ３ ＦＰ ULVAC (SHANGHAI)CO.,LTD9 2 1 4ＨＥＬＩＯＴ ７０6 TP . . RV1STVV PiG1 真空法専用機 测试口有ＶＤ４０１粗抽 STV1 TMP1 TMP1VV 306的替代品 CL RV2 RVV STV2ANA TMP2 TV2 TV1 CLV VV TMP2VV FV RP TV3FVV FP PiG2 ULVAC (SHANGHAI)CO.,LTD10 2 1 5ＨＥＬＩＯＴ 7 1 0. . 1) 2) 1) ［语言选择］ 按下语言显示部分的 日语(Japanese) 后，显示弹出窗口。从日文、英文、 德文 中文 韩文 繁体中文中选择并再次按下语言显示部分即完成设定、 、 、 。 2) ［测定气体］ 选择 He （氦）或 H2 （氢）。 注意： ［测定气体］：选为 H2时，仅可选择 标准 灵敏度。 选择 标准 灵敏度时，则不能选择 超微漏模式 。 选择 高灵敏度 时，则不能选择 吸枪校正、吸枪浓度 和 吸枪大气 。 H2测定比He测定对机器状态（本底）的影响更大。尤其是起动刚刚结束 后，测定值有不稳定的趋势。进行E-7Pa･m3/s范围以下的测定时，建议在起 动结束后，进行1小时以上的暖机运转，并在实施灵敏度再校正之后使用。氢 气若与空气混合且比率达到4%以上的话 有发生爆炸的危险性 必须根据所使 ULVAC (SHANGHAI)CO.,LTD11 , 。 用的氢气或氢气混合气体的MSDS确认其安全性,且使用时必须十分小心。 选择自动模式: 9种模式可提供选择. ［离子源检测］ 切换为模拟输出画面后，检测离子源的灯丝。如果点亮灯丝 时的发射电流值正常，即为检测合格。 ［加速电压检测］ 用于调整加速电压 加速电压处在215-250V内即为合格。 。 ［离子聚焦电压值］ 用于确认离子聚焦电压。 ［各测试模式灵敏度］ 在选择的测试模式下实施灵敏度校正