沈航传感与测试技术3.2.3,3.3.4电容式、测量电路技术总结.ppt

常用传感器;电阻式传感器 电感式传感器 电容式传感器 电参量型传感器测量电路;电容式传感器;电容式传感器;极距变化型电容传感器;极距变化型电容传感器;极距变化型电容传感器;极距变化型电容传感器;面积变化型电容传感器;面积变化型电容传感器;面积变化型电容传感器;应用特性： 面积变化型电容传感器的优点是输出与输入关系是线性关系。 与极距变化型相比，灵敏度较低，适用于较大直线位移和角位移测量。 常采用差动式结构以提高灵敏度。;L;等效电路(Equivalent circuit) 考虑电容传感器在高温、高湿及高频激励的条件下工作，而不可忽视其附加损耗和电效应影响时，其等效电路如图。;寄生电容(Parasitical capacitance) 寄生电容与传感器电容并联，严重影响传感器的输出特性。消除寄生电容的影响，是电容式传感器实用的关键。下面介绍几种消除电缆寄生电容影响的方法： 驱动电缆法 ???理：驱动电缆法是一种等电位屏蔽法。使用电缆屏蔽层电位跟踪与电缆相连的传感器电容极板电位，使两电位的幅值和相位均相同，从而消除电缆分布电容的影响。;寄生电容(Parasitical capacitance) 驱动电缆法;寄生电容(Parasitical capacitance) 整体屏蔽法;寄生电容(Parasitical capacitance) 采用组合式与集成技术;边缘效应(Margin effect) 理想平板电容器的电场线是直线的，但实际情况下，在靠近边缘地方的会变弯，越靠边就越弯得厉害，到边缘时弯得最厉害，这种弯曲的现象叫做边缘效应。 措施： 采用带有保护环的结构，如图：;静电引力(Electrostatic attraction) 电容式传感器两极板间因存在静电场，而作用有静电引力或力矩。静电引力的大小与极板间的工作电压、介电常数、极板距离有关。通常这种静电引力很小，但在采用推动力很小的弹性敏感元件情况下，需考虑因静电引力造成的测量误差。 温度的影响(Temperature effect) 环境温度的变化将改变电容传感器的输出相对被测输入量的单值函数关系，从而引入温度干扰误差。这种影响主要由两个方面因素引起的，一个是温度对结构尺寸的影响。另一个是温度对介质的影响。;电参量型传感器输出为电路参数，即电阻、电容和电感(自感)，都属于能量控制型传感器，需要设计合理的电参数—电量(通常为电压或电流)转换电路，并供以外部电源，通过测量由被测量变化引起的电路参数变化控制的电路输出能源大小来实现被测量的测量，一般为电压信号。 采用激励电源是直流或是交流，其转换电路输出的信号形式也不同，可输出直接与被测量相对应的低频信号，也可是受被测量调制的调幅信号或调频信号、调相信号等，也可输出为电压脉冲信号。;电参量型传感器测量电路一般包括电参数—电压转换电路、放大电路、激励电源和解调电路。当激励电源是直流电源时，解调电路可略。 ;思考题