xps分析仪器.ppt

;表面分析技术-XPS;表面分析技术-XPS;何为表面？;何为表面?;与能谱分析的差异;固态样品：片状、块状或粉末（不提倡，容易在高真空中污染分析室）。 另外在样品的保存和传送过程中应尽量避免样品表面被污染。在任何时候，对被分析样品的表面都应尽量少地接触和处理。;由于电子能谱测量要在超高真空中进行，测量从样品表面出射的光电子或俄歇电子。所以对检测的试样有一定的要求，即样品在超高真空下必须稳定，无腐蚀性，无磁性，无挥发性 ，容易吸潮的样品也慎重。 ; 一、光电子能谱的基本原理 二、图谱的解析 三、定性与定量分析;光电子能谱的基本原理;电子能谱分析基础;光电效应示意图;;图谱的解析;XPS谱图认识----初级结构 ; 强度：与元素在表面的浓度和原子灵敏度因子成正 比。 对称性：过渡金属中的峰不对称性是由金属EF附近的???能量电子-空穴激发引起，即价带电子向导带未占据态跃迁。不对称度正比于费米能级附近的电子态密度。 化学位移：化学位移与原子上的总电荷有关（价电荷减少→结合能EB增加）：取代物的数目；取代物的电负性 ；形式氧化态。 ;如对于Ti和Ti4+的Ti 2p3/2和Ti 2p3/2的化学位移。电荷从Ti→Ti4+减少，所以2p轨道弛豫到较高结合能位置(从453.8 eV → 458.5 eV)。 化学位移信息对官能团、化学环境和氧化态分析是非常有力的工具。 ;XPS手册使用; XPS谱显示出一特征的阶梯状背底，光电发射峰的高结合能端背底总是比低结合能端的高。这是由于体相深处发生的非弹性散射过程（外禀损失）造成的。平均来说，只有靠近表面的电子才能无能量损失地逸出，在表面中较深处的电子将损失能量并以减小的动能或增大的结合能的面貌出现，在表面下非常深的电子将损失所有能量而不能逸出。 ; 由弛豫过程中(芯能级存在空穴后)原子的剩余能量产生。它总是伴随着XPS，具有比光电发射峰更宽和更为复杂的结构，其动能与入射光子的能量hν无关。 ; 自旋-轨道分裂是一初态效应。对于具有轨道角动量的轨道电子，将会发生自旋(s)磁场与轨道角动量(l)的耦合。总角动量 j =| l±s |。对每个j值自旋-轨道分裂能级的简并度 = 2j + 1. ;s 轨道无自旋-轨道分裂 – XPS中单峰 p, d, f … 轨道是自旋-轨道分裂的 – XPS中双峰 双峰中低j值的结合能EB较高(EB 2p1/2 EB 2p3/2) 自旋-轨道分裂的大小随Z 增加 自旋-轨道分裂的大小随与核的距离增加(核屏蔽增加)而减小 ; 两个以上的原子以电子云重叠的方式形成化合物，根据量子化学计算结果表明 ，各原子内层电子几乎仍保持在它们原来的原子轨道上运行，只有价电子才形成有效的分子轨道而属于整个分子。正因如此，不少元素的原子在它们处在不同化合物分子中时的X-射线内层光电子的结合能值并没有什么区别，在这种场合下研究内层光电子线的化学位移便显得毫无用处，如果观测它们的价电子谱，有可能根据价电子线的结合能的变化和价电子线的峰形变化的规律来判断该元素在不同化合物分子中的化学状态及有关的分子结构。;价电子谱线对有机物的价键结构很敏感，其价电子谱往往成为有机聚合物唯一特征的指纹谱，具有表征聚合物材料分子结构的作用。目前用XPS研究聚合物材料的价电子线，以期得到这类材料的分子结构的信息的工作已得到了相当的发展。 ; 1.X射线卫星峰（x-ray satellites） 非单色x射线源会在xps谱低结合能端产生“鬼峰”。 2. 震激谱线 （shake-up lines） 震激特征在与顺磁物质关联的过度金属氧化物中十分普遍。有机物中碳的震激峰与芳香或不饱和结构相关。;3.多重分裂 （multiplet splitting）偶尔会看到s轨道的分裂。与价壳层中存在未配对电子相关。 4.能量损失峰（energy loss line）光电子向表面迁移过程中发生的分立损失结构卫星峰。在谱图上呈现一系列等间距的峰，强度逐渐减弱。;震激峰;能量损失峰;等离子激元;元素的定性定量分析; 尽管X射线可穿透样品很深，但只有样品近表面一薄层发射出的光电子可逃逸出来。电子的逃逸深度和非弹性散射自由程为同一数量级，范围从致密材料如金属的约1nm到许多有机材料如聚合物的5nm。因而这一技术对固体材料表面存在的元素极为灵敏。这一基本特征，再加上非结构破坏性测试能力和可获得化学信息的能力，使得xps成为表面分析的极为有力工具。;元素组成;步骤：1） 全谱扫描（survey scan） 对于一个化学成分未知的样品，首先应作全谱扫描，以初步判定表面的化学成分。 首先鉴别一些总是存在的元素谱线，C和O的谱线；其次鉴别样品中主要元素的