镀膜材料基础知识剖析.pptVIP

;１：光学薄膜材料;１.１：光学薄膜的基本要求;１.１.1：透明度;　　一般介电质材料在中红外区就出现长波晶格振荡吸收，因此介电质材料的λL就发生在中红外区． 　　由固体材料所得到的结论并不能立即应用在薄膜上，原因是结构已经发生了变化，空隙及杂质的掺入，而有些化合物蒸镀时发生分解而造成吸收，如硫化物，硒化物薄膜，甚至部分氧化物及氟化物也是有如此的问题． 　 　　;　　透明度的降低可分为吸收和散射两种造成，这些吸收及散射影响薄膜的光学特性且与能否承受高的辐射有关．举例来说，干涉滤光片的透射率及雷射镜片的反射率以及波导的传输距离受到薄膜是否吸收或散射的影响很大． 　　膜层中发生吸收损耗的原因很多，前述的能阶吸收，晶格振荡吸收，自由载子吸收是主要原因，其他如杂质的存在，膜层的晶态不完整，化合物有了分解等等都是．可以预见的是，高折射率材质比低折射率材质有高的吸收，原因是高折射率材质的λs会比其块状材料向长波偏移． 　　倘若原子量增大，离子性减少则会使λL移向长波区，一般的红外材料的特性正式如此． 　　;　　半导体材料由于△E很小，自由载子浓度随温度上升而增加，致使透明度下降，例如在室温时Ge 在10000nm的吸收为0.02cm-1,到了70℃就上升到0.12cm-1. 100℃就到0.4cm-1. 　　;光学材料的透明区 　　;１.１.２：折射率;　　(1):与组成膜的化学元素有关