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清洗机保养维护作业指导书
文件编号页 次文件名称全自动清洗机维护保养作业指导书制定部门制订日期
1.0 目的:
本文旨在规范清洗机之预防保养及维修作业,以维护产品于制程中之品质,与工作人员之安全。
2.0 范围:
本标准适用于清洗机预防保养与维修作业。
3.0 定义:
无。
4.0 作业内容:
针对设备维护保养及开关机步骤。
5.0 注意事项:
实施保养作业前,将机台上之杂物清理干净,并把机台标识牌调到“设备保养”位置。
保养时,应带上口罩和手套,并做好各项安全措施。
保养时,须按部就班地进行保养,且注意安全。
6.0日常保养:
清洗机 机台编号:______ 保养日期 : 保养周期:周、月、季、年序号周期计划保养项目处理方法完成打√标准值执行人备注1周机台内部清洁用无尘布蘸水擦拭 2周手臂清洁用无尘布蘸水擦拭 3 月槽体清洁用水枪冲洗、无尘布蘸酒精擦拭 4月丝杠导轨轮滑添加润滑油 校 准审 查拟 案版 本修订内容修订日期符号版本号A修改号0文件编号页 次
6.1机台内部清洁:
6.1.1用无尘布蘸水擦拭门窗。
6.2药液槽、QDR槽清洁:
6.2.1将机台切换至手动状态,点击界面槽盖开关将槽盖打开,点击药液槽排放将槽内药越排出至槽空。
6.2.2用水枪将药液槽充满再次排放来回2-3次将槽内残余药业冲洗干净 ,槽内若有脏污用无尘布蘸酒精擦拭。
槽外一并冲洗
将槽内液排空
用水枪冲
6.3手臂清洁:
6.3.1用无尘布擦拭手臂。
文件编号页 次
6.4丝杠导轨清洁:
丝杠擦干净上油新
6.4.1用无尘布将滑轨和齿条上的旧油擦拭干净(针对清洗1号机和2号机)。
导轨擦干净上油新
清洗3号机和4号机丝杠导轨清洁,打开设备上方外盖,站在梯子上去擦拭。
丝杠擦干净上油新
导轨擦干净上油新
6.5混酸步骤:
6.5.1将需要更换的药液桶放入放置区位置。
点击自动混酸
将药液桶放入对应位置
选择需要作业的混酸槽号,点击后自动混酸至完成
文件编号页 次
6.6设备的开关机:
6.6.1关机:
6.6.2先退出软件在关闭电脑。
6.6.2关闭PLC电源。
6.6.3关闭总电源。
6.6.4依次关闭供液系统电源。
反之开机顺序反过来即可完成开机流程。
文件编号页 次
6.7异常处理:
6.7.1异常停电处理:
设备所有电源开关关闭。
待厂务正常供电,检查厂务二次配电源是否正常,若电源供应无问题,则机台依供电复机。
机台复机完毕,依序对各机台进行操作及Test Run,确定机台正常后使可交予工艺/生产。
6.7.2机台异常处理:
现场操作人员须立即停止作业并通知其单位主管及设备工程师进行检查维修。
设备维修完成后,需先Test Run后,使可交??产线。
将维修过程详细填写于『芯片设备每日维修保养纪录表』
6.8参考文件
6.8.1设备保养计划表。
6.8.2 清洗机设备说明书。
7.0相关表单:
7.1.1机台设备履历表。
7.1.2 清洗机保养记录表。
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