薄膜力学性能选编.pptVIP

第四章 薄膜力学性能部分;第四章 薄膜的力学性能;定 义; 分 类;4.1 薄膜的弹性性能;三点弯曲;单面镀膜的膜基复合薄板的抗弯刚度 为 ;压痕法;为约化弹性模量;二、薄膜的应力应变关系;基体和薄膜作为一个整体的试件在外加载荷 作用下，分别加载在基体和薄膜上 ;2. 压痕法;图1 幂指数应力－应变关系图;在压痕测试过程中，加载载荷不断增大，一旦材料发生屈服，外载 可视为下列独立参数的函数：材料的杨氏模量 、泊松比 ,压头的杨氏模量 、泊松比 ， 屈服强度 ，硬化指数 ，压痕深度以及压头半径 。故 可表示为 ;对(4.17)式进行量纲分析，得 ;表4.1 式(4.21)中对应于hg /R 的系数;图2 根据p-h 曲线确定应力－应变关系的流程图;4.2 薄膜的残余应力; 薄膜—基底体系中由于晶格常数失配在薄膜中产生的内应力由Hoffman的晶界松弛模型得到 ;二、残余应力的测量; Stoney公式广泛应用于计算薄膜的残余应力，但使用时应明确该公式的适用范围， Stoney公式采取了如下假设;2.多层薄膜的情形;3. 薄膜厚度与基底可比时的情形;图3 柱坐标系下由于基底中面转动引起的应变;小变形时 和 分别为 ;应变能处于平衡状态需满足 ， 。 即导出 ;4. 一级近似的薄膜应力梯度分布 ; X射线衍射法测定材料中的残余应力的原理是因为物体内部存在的残余应力，使得晶体的晶格常数发生弹性变形，即晶面间距发生了变化。通过晶体的Bragg衍射;测定原理：;将布拉格方程微分可得到: ; X射线衍射法测量残余应力中最常用的方法是 法，其基本原理简述如下。 ; 可由以其方向为法向的 面的面间距的变化表征，即有 ;由方程(4.35)、 (4.36) 和(4.37)可得到 ;测试方法 ;1. 为任意角的测定;2、00___450法; 应力仪法;用应力仪进行00____450测量时，两次所测的应变分量分别为η和(450+η)方向，所以计算公式为 ;残余应力的X射线测定法模型推导;残余应力的X射线测定法;残余应力的X射线测定法; 是 与 的夹角，OZ与 构成的平面称“测量方向平面” ;残余应力的X射线测定法;残余应力的X射线测定法;残余应力的X射线测定法;残余应力的X射线测定法;残余应力的X射线测定法; 根据薄膜内的残余应力不改变薄膜的厚度，对有和无残余应力的薄膜作相同深度的压痕实验，获得两条曲线。对比两条曲线，按下图确定残余应力的符号。;根据式(4.39)确定面积 ;获得 、 的值后，对于残余拉应力，代入下式 ; 膜内应力的存在使膜基复合体产生一定程度的弯曲变形。根据弹性力学理论，由镀膜前后悬臂梁的曲率半径、中性面位置和抗弯刚度的变化，可得到镀膜悬臂梁任意横截面上应力对中性面产生的弯矩为 ; 另外，根据弯矩定义，设膜厚为 时膜内的平均应力为 ，弯矩 也为; 镀膜前，基体处于平直状态，即 ，镀膜后， ， 为悬臂梁长度， 为悬臂梁镀膜后自由端的挠度，(4.50)式转化为; 制作薄膜时，不可避免地使在基底上的薄膜产生残余应力。这种应力会对加工出来的微结构的力学行为产生重要影响。在内部残余应力的作用下，会产生几类重要的力学行为：; 以图4所示的压应力为例，其作用使微悬臂梁(弹性模量为 )向上弯曲。 ;图4 由于压应力而向上弯曲的微悬臂梁;如果忽略横向泊松比的影响，可以导出微梁弯曲的曲率半径 ; 有厚度为 、横截面积为 的矩形截面梁，其截面的惯性矩 。假设梁的任一截面都承受着轴向力 ， 的大小不变且均匀分布。 与一个外部的横向均布载荷 共同作用，使得微梁各部分发生位移 ，如果微梁所用材料的密度为 ，弹性模量为 ，并且材料是各向同性的，那么梁发生弯曲的微分方程为;这里考虑的是微梁在其内部应力作用下发生的屈曲， 为零。当 足够大时梁失稳。假设位移 可被分离变量表示为 、 ，则式(4.59)变为 ;对于两端简支的梁和两端固支的梁将边界条件代入式(4.61a)、(4.61b)，可解出位移表达式，结构发生屈曲的临界载荷为;(a) 悬臂梁 (b) 两端固支梁;4.3 薄膜的断裂韧性; 在表面涂覆技术中，覆材与基材通过一定的物理化学作用结合在一起，存在于两者界面上的结合力随涂覆类型的不同有着较大的差异。这些力既可以是主价