深亚微米hci模型参数多目标全域提取方法.pdfVIP

3 2 2 1 2 2 2 2 第 26 卷 　第 10 期 半 　导 　体 　学 　报 Vol. 26 　No. 10 2005 年 10 月 CHIN ESE J OURNAL OF SEMICONDUCTORS Oct. ,2005 深亚微米 HCI 模型参数多目标全域提取方法 李 　康 　郝 　跃 　刘红侠 　马晓华 　马佩军 (西安电子科技大学微电子学院 宽禁带半导体材料与器件教育部重点实验室 , 西安 　710071) 3 摘要 : 研究了一种建立在