平面微型挠性夹爪几何尺寸效应之有限元素分析-高苑科技大学.doc

PAGE 47 PAGE 5 平面微型撓性夾爪幾何尺寸效應之有限元素分析 王永聯* 張仁宗** *高苑技術學院自動化工程技術系 **國立成功大學機械工程研究所 摘要 平面微型撓性夾爪是採用一體成型的設計，具有尺寸易微小化和沒有組裝與磨擦等問題。在平面微型撓性夾爪的尺寸效應分析是用場方程探討應力應變關係，藉著有限元素法建立模型與縮小比例模型間的應力應變量化關係，以利撓性夾爪微小化的分析與設計。 關鍵字：微型撓性夾爪，尺寸效應分析，有限元素法。 簡介 在工業的生產常用夾爪做置放物件，組裝和搬運等工作，而微機械的研究與應用，仍需要夾爪協助做組裝與精密定位，因此引起許多學者對微型夾爪的研究與設計，如Kim，Pisano，Muller和Lim使用矽晶材料和靜電驅動製作微型夾爪[5]；Chang和Wang使用高分子材料和電磁力驅動設計微型夾爪[3]。 在微小化的過程中，Fujita(1993)曾明確指出在巨觀機械被忽略的因素，可能在微機械就變的重要，如旋轉微型馬達其兩平面間的磨擦力就變的重要，這是因為在微小化時，磨擦力並不遵循尺寸定律(scaling law)；另一個重要的因素是機械微小化時機械加工，組裝與調整將變的更加困難[4]。因此微型夾爪的研究應朝向減少元件或一體成型的簡單幾何形狀設計，以期減少微加工，組裝與磨擦等問題。 對於機械微小化的分析其物理現象異於巨觀機械，不宜憑經驗推定微機械的性能，因此可藉瑞萊法(Rayleigh method)和巴金漢 ?-法(Buckingham ?-method)的因次分析及齊次性加以探討參數相對的量化意義或由模型相似性探討幾何，運動和動力等特性的量化關係[6]。 因此本文的研究方向是以一體成型的觀念設計撓性夾爪，且用模型相似性探討場方程微小化時應力應變的尺寸效應。 撓性夾爪的有限元素分析 平面微型撓性夾爪是一體成型的設計，其分析方式非常適合以場方程的線性彈性模式有限元素法做應力應變分析，應力應變場是以具等向和均質性的線性彈性模式來分析。平面微型撓性夾爪其平面應力分析的有限元素式子如下[1，2]： ， (1) 在這裡，和分別表示每個元素的剛性矩陣，位移矩陣和???荷向量矩陣。剛性矩陣的進一步表示 ， (2.a) 在這裡 ， (2.b) ， (2.c) 負荷向量矩陣是由邊界應力，物體力和溫度效應所構成。 ， (3.a) 在這裡 ， (3.b) ， (3.c) ， (3.d) 而， 符號，和分別表示為邊界應力，物體力和熱膨脹系數，而，，，和分別為形狀函數，楊氏模數，鮑生比，厚度和溫度變化量。每一個元素的應力為 。 (4) 將每個元素的局部矩陣組成一個整體矩陣，並反轉剛性矩陣求得整體位移矩陣為 。 (5) 撓性夾爪的尺寸效應分析 撓性夾爪的尺寸效應分析是以相似幾何模型做應力應變場分析，模型間的尺寸效應分析則以相同的元素數目，分割點數目，形狀函數，材料，溫度膨脹系數，溫度變化和同樣型態的邊界條件，在理想情況下以有限元素法探討應力和應變的量化關係。 相似模型間的有限元素法分析皆需轉成標準元素( parent element)來處理，因此分別以下標p和s表示模型和縮小比例模型的方程式，下述矩陣形態的方程式就是將真實元素換成標準元素形態。（2.a）式的剛性矩陣和（3.a）式的負荷向量，在模型平面微型撓性夾爪是以下標p表示。 , (6) 。 (7) 當模型縮小時的剛性矩陣和負荷向量分析，仍須轉換成標準元素的矩陣形態，（2.a）式的剛性矩陣和（3.a）式的負荷向量，在縮小比例模型是以下標s表示。 , (8) 。 (9) 現在個別探討（6）式和（8）式，（7）式和（9）式的尺度分析。首先模型和縮小比例模型是以相同材料製造，因此具有相同的材料性質，溫度膨脹系數與溫度變化，且在相同物體力下操作，故，和 。厚度和邊界應力的比例因子關係定義為 和。因此只要分析， 和的尺寸效應，就可建立模型與縮小比例模型的量化關係。有限元素法中常用的等參數做法(isoparamertic approach)為 (10) 和 。 (11) 和是模型的真實點座標。縮小比例模型與模型的平面座標為和，所以其關係可表為 (12) 和 。