双光子三维微细加工技术及实验系统的开发.PDFVIP

第 11 卷 第 3 期 光学 精密工程 Vol. 11 No . 3 2003 年 6 月 O ptics and Precision Engineering Jun. 2003 文章编号 1004924X( 2003) 03023405 双光子三维微细加工技术及实验系统的开发 1 1 1 1, 2 1 1 1 蒋中伟 , 袁大军 , 祝安定 , 夏安东 , 黄文浩 , 褚家如 , 刘允萍 ( 1. 中国科学技术大学 精密机械与精密仪器系, 安徽 合肥 230026; 2. 中国科学院 分子反应动力学国家重点实验室, 北京 100080) 摘要: 介绍了一种新型的三维微细加工技术, 描述了自行开发的双光子微细加工实验系统。双光子三维微