双光子三维微细加工技术及实验系统的开发.PDF

第 11 卷 第 3 期 光学 精密工程 Vol. 11 No . 3 2003 年 6 月 O ptics and Precision Engineering Jun. 2003 文章编号 1004924X( 2003) 03023405 双光子三维微细加工技术及实验系统的开发 1 1 1 1, 2 1 1 1 蒋中伟 , 袁大军 , 祝安定 , 夏安东 , 黄文浩 , 褚家如 , 刘允萍 ( 1. 中国科学技术大学 精密机械与精密仪器系, 安徽 合肥 230026; 2. 中国科学院 分子反应动力学国家重点实验室, 北京 100080) 摘要: 介绍了一种新型的三维微细加工技术, 描述了自行开发的双光子微细加工实验系统。双光子三维微 细加工技术 利 用材料与飞秒激光束在焦点局域发生的双光子激发, 通 过逐点扫描, 实现微器件的三维成型。由于材料发 生双光子激 发 的几率与激发光强的平方成正比, 所以具有极高瞬时光 强的飞秒激光 器和可以 对光束进行 强聚焦的显 微镜装 置成为 系 统的关键部件, 对此进行了详细的说明。最后, 给出了部分利用上述加工系统所获得的初步实验结果。 关 键 词: 双光子激发; 光聚合; 飞秒激光器; 三维微器件 中图分类号: T G665 文献标识码: A 2photon 3D microfabrication technology and its experimental system JIANG Zhongwei1 , YUAN Dajun1 , ZHU Anding1 , XIA Andong 1, 2 , HUANG Wenhao1 , CHU Jiaru1 , LIU Yunping1 ( 1. Precise Machinery and Pr ecise I nstr ument Dep ar tment , UST C, H ef ei 230026, China; 2. State K ey L ab of Molecular Reaction Dynamics , CAS , Beij ing 100080, China) Abstract: The 2photon 3D microfabrication technology employs the 2photon excitation locally induced be tw een the femtosecond laser and the material to achieve 3D shaping through point to point scan. For the probability of twophoton ex citation is in direct proportion to the squared intensity of laser, both the femto second laser w ith extremely high pulse intensity and the m icroscope with hig h numerical aperture become critical components in the system, and therefore much detail inform ation is provided on this particular as pect. Some preliminary ex perimental results obtained with