氢原子辅助MBE生长对GaAs外延面形貌的影响.PDFVIP

2 2 2 2 　第 19 卷第 5 期　　　　　　　　半　导　体　学　报　　　　　　　　V o l. 19,N o. 5　 　1998 年 5 月　　　　　　CH INESE JOU RNAL O F SEM ICONDU CTOR S　　　　　 　M ay, 1998　 ? 2í ? 2í 2 2 2 2 氢原子辅助M BE 生长对 GaA s 外延面形貌的影响 牛智川1, 2　R ichardN oetzel1　周增圻2　吴荣汉2　K lau s H. P loog1 (1 Paul