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超声波加工技术 | 2014/3/8  PAGE \* Arabic \* MERGEFORMAT 8 超声波加工技术 | 2014/3/8  PAGE \* Arabic \* MERGEFORMAT 7 超声波加工技术   超声波加工技术 绪论 人耳能感受到的声波频率在20—20000HZ范围内，声波频率超过20000HZ被称为超声波。超声波加工（Ultrasonic Machining简称USM）是近几十年来发展起来的一种加工方法，它是指给工具或工件沿一定方向施加超声频振动进行加工的方法，或利用超声振动的工具在有磨料的液体介质或干磨料中产生磨料的冲击、抛磨、液压冲击及由此产生的气蚀来去除材料，又或利用超声振动使工件相互结合的加工方法。它弥补了电火花加工的电化学加工的不足。电火花加工和电化学加工一般只能加工导电材料，不能加工不导电的非金属材料。而超声波加工不仅能加工硬脆金属材料，而且更适合于加工不导电的硬脆非金属材料，如玻璃、陶瓷、半导体锗和硅片等。同时超声波还可用于清洗、焊接和探伤等。 超声波加工的基本原理 图1超声加工的原理图 超声波加工的原理如上图1所示，超声波发生器7产生的超声频电振荡通过换能器6产生20000 Hz以上的超声频纵向振动，并借助于变幅杆4把振幅放大到0．05～0．1 mm左右，从而使工具1的端面作超声频振动。在工具1和工件2之间注入磨料悬浮液3，当工具端面迫使磨料悬浮液中的磨粒以很大的速度和加速度不断的撞击、抛磨被加工表面时，把被加工表面的材料粉碎成很细的微粒，从工件上剥落下来。虽然每次剥落下来的材料很少，但由于每秒钟撞击的次数多达20000次以上，所以仍有一定的加工速度。与此同时，当工具端面以很大的加速度离开工件表面时，加工间隙内形成负压和局部真空，在工件液体内形成很多微空腔；当工具端面又以很大的加速度接近工件表面时，空泡闭合，引起极强的液压冲击波，从而强化加工过程。此外正负交变的液压冲击也使悬浮磨料的工作液在加工间隙中强迫循环，使变钝的磨粒及时得到更新。 由此可见，超声波加工是磨粒在超声振动作用下的机械撞击和抛磨作用以及超声波空化作用的综合结果，其中磨粒的撞击作用是主要的。 超声波加工的特点 1）适合于加工各种硬脆材料。既然超声波加工是基于微观局部撞击作用，所以材料越是脆硬，受撞击作用所遭受的破坏越大，愈适应超声波加工。例如玻璃、陶瓷、石英、石墨、玛瑙、宝石等材料，比较适合超声波加工。相反，脆性和硬度不大却具有韧性的材料，由于具有缓冲作用而难以采用超声波加工。因此，选择工具材料时，应选择既能撞击磨粒，又不使自身受到很大破坏的材料，例如不淬火的45钢等。 2）由于工具材料较软，易制成复杂的形状，工具和工件又无需做复杂的相对运动，因此普通的超声波加工设备机构简单。但若需要加工较大而复杂精密的三维机构，可以预见，仍需设计和制造三坐标数控超声波加工机床。 3）由于去除加工材料是靠极小磨粒瞬时局部的撞击作用，故工件表面的宏观切削力很小，切削应力、切削热很小，不会引起变形及烧伤，表面粗糙度值可达1.0—0.1，加工精度可达0.01—0.02mm，并可加工细小结构和低刚度的工件。 超声加工技术的应用 目前超声加工主要应用于：超声切削加工、超声磨削加工、超声光整加工、超声塑性加工、磨料冲击加工、超声焊接等，随着超声加工研究的不断深入，它的应用范围还将继续扩大。 超声振动切削 日本学者隈部淳一郎在 20 世纪 50－60 年代首先发表了许多振动切削方面的论文，系统地提出了振动切削理论，并成功地实现了振动车削、振动铣削、振动镗削、振动刨削、振动磨削等。随后，美国也对振动切削进行了研究， 20 世纪 70 年代中叶，到振动车削、振动钻孔、振动磨削、光整加工等均已达到实用阶段，超声加工在难加工材料和高精度零件的加工方面显示了很大的优越性，并在生产中得到推广应用。日本学者采用低频率（3000－5000Hz）振动切削方法，并用于切削纤维型材料（如金属短纤维） 。程雪利等人在对超声振动切削 SiCp/Al 复合材料的刀具磨损进行研究中，分别采用了超声切削和普通切削两种方式对 SiCp/Al 复合材料进行了车削试验，研究了切削参数对硬质合金 YG6 刀具磨损的影响规律，并在同等条件下与聚晶金刚石 ( PCD) 刀具进行了对比。研究发现，超声切削的刀具磨损量要小于PCD 刀具的磨普通切削的刀具磨损量；超声切削时，损量约为 YG6 刀具磨损量的 1/10，这点和普通切削十分相似。丁黎光、李建光在超声振动切削夹片的应用研究中，利用振动切削机理，针对锚具夹片精加工存在的问题，研究将超声振动切削用于夹片加工。实验分析表明，该方法不仅保证了加工质量，还 可提高加工效率、减轻劳动强度和降低产品成本等