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页码：第 PAGE 8页，共 NUMPAGES 8页 检测设备宕机处理规范 1、目的 确保产品在检测设备异常期间，得到及时有效的检测，从而保证产品质量。 2、适用范围 适用于所有在线、离线检测设备。 3、部门职责 3.1 生产部：按照规定执行使用部门职责。 3.2 质量部：①.负责挂牌和对应应急预案以及检测设备异常处理行动方案的监控和播报， 在责任部门交付后进行验证，判断合格，给予复机批准。 ②.按照规定执行使用部门职责。 ③.监督此文件标准化执行。 3.3 工艺部：接到使用部门通知，负责第一时间到现场与设备部负责人同时进行问题排查。 若确认是由于软件原因造成的异常，由工艺部进行排查，排查完毕后在《检测设备宕 机、屏蔽/复机记录单》中填写原因、措施、处理结果，处理完毕后交付给使用部门； 3.4 设备部：接到使用部门通知，负责第一时间到现场与??艺部负责人同时进行问题排查， 若确认是由于硬件原因造成异常的，由设备部填写原因、处理结果，处理完毕后、交付使用 部门。 3.5 通用职责： 3.5.1 使用部门：发现自己使用的检测设备异常（不工作或测试异常）后，第一时间通知 IPQC、相应责任部门负责人（可参照检测设备宕机责任部门表），并填写《检测设备宕 机、屏蔽/复机记录单》。 测试设备宕机维护责任部门岗位NO.检测设备责任部门硅片检验1GP-Waf-Q工艺/设备2Semilab-WMT工艺/设备3Nano-D/MCI-100工艺/设备前清洗4反射率测试仪工艺/设备扩散5Semilab-SHR工艺/设备6Napson工艺/设备后清洗7GP边阻测试仪设备8电子天平设备PECVD9GP-Col-Q工艺/设备10膜厚折射率测试仪工艺/设备丝网印刷11电子天平设备分检12GP-Cell-Q-FS/Manz分色工艺/设备13GP-Cell-Q-RS工艺/设备14在线EL设备15离线EL设备16金相显微镜工艺/设备可靠性17衰减箱设备18卧式拉力机设备温湿度19液晶大屏温湿度计质量-计量 3.5.2异常原因排查超过60min，现场的工艺监控，责任部门根据此文件给出应急预案给出，相应部门按照预案执行（若文件未涉及）。 3.5.3若需要屏蔽某处在线检测设备，申请屏蔽部门必须提出申请，填写《检测设备宕机、屏蔽/复 机记录单》，交予工艺进行审核，审核通过后将表单交给IPQC，由责任部门进行实施屏蔽。 3.6 使用部门定义： 生产部：所有在线检测设备（安置在生产设备内的检测设备），称重天平，边阻测试仪； 质量部：离线检测设备，包括Napson、椭偏仪、反射率测试仪，离线EL测试仪,卧式拉力机，温湿度计，光衰减箱。 4、处理流程 检测设备宕机处理流程责任部门要求相关记录 使用部门 工艺部/设备部 质量部 工艺部/设备部 设备部 质量部 7.质量部第一时间通知责任部门和质量部巡检和设备部到现场排查 开具《检测设备宕机、屏蔽/复机记录单》 IPQC到场挂牌 工艺/设备同时到场进行排，查判断是否是检测设备软件问题，若是，工艺部进行调试解决，若是非检测设备软件问题由设备部进行解决，产线按照本文件规定预案指向相关测试 设备部给出解决措施并调试 质量部巡检接到通知到场进行验证，验证方法：利用多片二级样片进行测试，分析标值与测试值的差；判定标准：最大极差小于容差，判定合格 6.确认调试完成后，IPQC挂正常牌回复生产 《检测设备宕机、屏蔽/复机记录单》检测设备屏蔽处理流程责任部门要求相关记录工艺部 生产部 设备部 工艺部 5.责任部门按照复机计划进行改善 6.质量部 7.质量部非检测设备宕机需要屏蔽检测设备时 要求屏蔽部门填写表单，进行屏蔽申请。要求申请部门将：屏蔽原因、预案以及复机方案和日期填写清楚，交给工艺评审 工艺部对屏蔽申请进行审核，审核完工艺将记录单交给IPQC 质量部巡检到场挂牌（屏蔽牌） 验证取消屏蔽后是否正常检验。验证方法：利用多片二级样片进行测试，分析标值与测试值的差；判定标准：最大极差小于容差，判定合格 IPQC挂正常牌恢复生产 《检测设备宕机、屏蔽/复机记录单》 5、宕机预案相关 测试设备异常应急预案岗位NO.检测设备异常应急预案测试方法和频率硅片检验1GP-Waf-Q测试异常或故障无法正常工作由生产人工全检预案中未提及的，按照最新的控制计划要求执行2Semilab-WMT3Nano-D/MCI-100前清洗4反射率测试仪单/多