传感器5-2学案.ppt

1.声波及声表面波 无边界各向同性固体中 - 传播的声波 根据质点的振动方向（偏振方向） - 可分 纵波 - 质点振动平行于传播方向 横波 - 质点振动垂直于传播方向 两者的传播速度 - 取决于材料的弹性常数和密度;纵波速度 横波速度 、 、 - 分别为材料弹性模量、泊松比和密度 一般 为 0 ～ 0.5;严格意义上 声表面波(SAW) - 泛指沿表面或界面传播的各种模式的波 不同的边界条件和传播介质条件 可以激发出 - 不同模式的声表面波;半无限基片上存在的声表面波 - 有 瑞利波（Rayleigh Waves） 漏波（Leaky SAW） 广义瑞利波（Generalized Rayleigh Waves） 水平剪切波（SH-SAW） 电声波（B-G Waves） 兰姆波（Lamb Waves）;瑞利波 半无限基片边界条件下 - 沿介质表面传播的波 声表面波(SAW)技术中所应用的绝大部分 - 瑞利波 声表面波(SAW)均指 - 各向异性晶体上的瑞利波;瑞利波 - 特点 ① 非色散播 - 即波速与频率无关 ② 质点 - 作椭圆偏振 偏振平面 - 不一定在弧矢平面（即传播方向与表面法线决定的平面）内 椭圆的主轴 - 不一定与传播方向或表面法线平行;③质点通常有三个位移分量 - 并随深度方向呈衰减振荡 能量几乎集中在 - 1～2 个波长的深度范围内 频率越高 -