红外成像阵列与系统-3.pptVIP

第三章 单片硅微测辐射热计阵列 1、概述两维微测辐射热计阵列探测器红外成像的应用 2、微测辐射热计的硅微机械加工及其在实际红外成像中的应用 第一节 微测辐射热计的背景 1、什么是红外热辐射 波长大于0.75um 的辐射。 2、什么是红外热辐射计 一种探测入射红外光引起自身温度升高的传感器。使用一种电导率随着温度变化的材料来测量温度的改变量。这样通过温度的改变量来测定入射红外光的大小。 3、红外热辐射计与其他传感器的区别 原理上：辐射计：利用入射的红外光使辐射计探测材料温度发生变化来探测的。 传感器：利用其他敏感量来测量。 探测对象：一个是红外光（热辐射），另一个是其他的敏感量（如声音、压等）。 材料上：辐射计：利用电导率随着温度变化的材料。传感器：如压力传感器可利用压电陶瓷等。 4、辐射计的发展过程 1881年Langley在别人建立的辐射计原理基础上构造出第一个辐射计。以后的工作就在于对辐射计的改进上。 1979年前，对于很多传感器上的两维阵列都是不适用的。 由于辐射计在尺寸上都很大，所以一直到 1978年Johnson(Higashi,1996)提出了适用的硅微型隔热结构作为室内温度热红外传感器。 1979年Johnson和Higashi构造了原型传感器。 原型传感器: 由机械桥型的Si3N4构成，外部为100 大小﹑厚为1µm ，