Silvaco操作指南讲述.docVIP

 PAGE 2 第二篇 半导体工艺及器件仿真软件Silvaco操作指南 主要介绍了半导体器件及工艺仿真软件Silvaco的基本使用。书中通过例程引导学习工艺仿真模块Athena和器件仿真模块Atlas，通过这两部分的学习可以使学习人员深入了解半导体物理的基本知识，半导体工艺的流程，以及晶体管原理的基本原理，设计过程，器件的特性。对于学习集成电路的制备及后道工序有一定的帮助。  HYPERLINK \l _Toc241484385 第一章 Silvaco软件介绍  PAGEREF _Toc241484385 \h 25  HYPERLINK \l _Toc241484386 1.1程序启动  PAGEREF _Toc241484386 \h 25  HYPERLINK \l _Toc241484387 1.2 选择一个应用程序例子  PAGEREF _Toc241484387 \h 26  HYPERLINK \l _Toc241484388 1.3 工艺模拟  PAGEREF _Toc241484388 \h 28  HYPERLINK \l _Toc241484389 1.3.1 ??行一次模拟  PAGEREF _Toc241484389 \h 28  HYPERLINK \l _Toc241484390 1.3.2 渐进学习模拟  PAGEREF _Toc241484390 \h 28  HYPERLINK \l _Toc241484391 1.3.3 绘制结构  PAGEREF _Toc241484391 \h 28  HYPERLINK \l _Toc241484392 1.3.4 使用Tonyplot进行绘图  PAGEREF _Toc241484392 \h 29  HYPERLINK \l _Toc241484393 1.3.5 修正绘图的外观  PAGEREF _Toc241484393 \h 29  HYPERLINK \l _Toc241484394 1.3.6 缩放及在图上进行平移  PAGEREF _Toc241484394 \h 30  HYPERLINK \l _Toc241484395 1.3.7 打印图形  PAGEREF _Toc241484395 \h 31  HYPERLINK \l _Toc241484396 1.4 使用History功能  PAGEREF _Toc241484396 \h 31  HYPERLINK \l _Toc241484397 1.5 明确存贮状态  PAGEREF _Toc241484397 \h 32  HYPERLINK \l _Toc241484398 1.6创建用于比较的两个结构文件  PAGEREF _Toc241484398 \h 32  HYPERLINK \l _Toc241484399 1.6.1 存贮文件创建  PAGEREF _Toc241484399 \h 32  HYPERLINK \l _Toc241484400 1.6.2　文件交叠  PAGEREF _Toc241484400 \h 33  HYPERLINK \l _Toc241484401 1.7 运行MOS工艺程序的第二部分  PAGEREF _Toc241484401 \h 35  HYPERLINK \l _Toc241484402 1.7.1 `Stop At 功能  PAGEREF _Toc241484402 \h 35  HYPERLINK \l _Toc241484403 1.7.2 使用Tonyplot用于2-D结构  PAGEREF _Toc241484403 \h 36  HYPERLINK \l _Toc241484404 1.7.3 使用Tonyplot来制备一轮廓图  PAGEREF _Toc241484404 \h 37  HYPERLINK \l _Toc241484405 1.7.4 产生交互式图例  PAGEREF _Toc241484405 \h 38  HYPERLINK \l _Toc241484406 1.8 工艺参数的抽取  PAGEREF _Toc241484406 \h 39  HYPERLINK \l _Toc241484407 1.8.1 源漏结深  PAGEREF _Toc241484407 \h 40  HYPERLINK \l _Toc2