台积电节能案例.doc-节约能源园区.doc

P- PAGE 32 附件六-1 經濟部節約能源績優廠商表揚活動 節約能源或抑低二氧化碳排放措施及成效資料表 編號： 申請單位名稱台灣積體電路製造股份有限公司申請單位分支機構名稱台積電十四廠節約能源或抑低 二氧化碳排放主題案例一、VOC瓦斯減量實施日期九十五年一月節能 措 施在VOC處理效率須符合法規的前提下，避免過度燃燒浪費能源，使VOC瓦斯耗量合理化，同時降低公司的運轉成本，達到節能的效益  設 計 理 念 或 改 善 方 案FAB14 P1VOC 設計風量為50000CMH，共6SETS DESIGN DATA 脫附的風量為3855CMH 濃縮倍數為13倍 VOC燃燒的溫度730℃ 脫附的溫度200℃ 改善方案： 降低VOC脫附的風量 將3855CMH調整為3500CMH 增加脫附時VOC的濃度 將VOC ROTOR的轉速35HZ調整為30HZ 降低VOC燃燒的溫度 將VOC燃燒的溫度730℃調整為715℃ 約可節省262,800m3 /年之瓦斯量，節省運轉成本3,850仟元/年 節 能 成 效 經計算改善後每年共節省瓦斯量 262,800m3 /年 每年總節省金額：262,800m3 /年×14.65元/ m3＝3,850仟元/年， 約省下3,850仟元(1 m3NG=14.65元計算之) 換算成抑低二氧化碳排放率：262,800 m3× 2.1/1000=551.88噸-CO2/年   暖房負荷 原理說明(flow chart)： 含有VOCs廢氣自處理區進入沸石轉輪，此時廢氣中之VOCs廢氣大部分均被沸石轉輪之沸石吸附材吸附，繼而大幅降低VOCs廢氣含有量而成為較乾淨之空氣，此一部份較乾淨之氣體由另一側排出，進入煙囪排入空氣中；然而另一部份氣體需用來脫附再生區之氣源。由冷卻區導入燃燒機二次熱交換器，再經再生區後之再生濃縮空氣將成為含有高濃度VOCs之廢氣，而進入燃燒機燃化（約730℃），達到淨化功能；沸石轉輪運轉時，由吸附區轉至脫附區再轉至冷卻區，連續的緩慢轉動，以達去除VOCs廢氣的作用。 燃燒爐總消耗熱能Heat Req.計算 =3855x1.293x0.26x(730-35)=900702 Kcal/Hr 熱回收熱能Heat Rec.計算 =900702x0.6=540421 Kcal/Hr VOCs燃燒熱能Heat Voc計算 =3855x1.293x0.26x200/1000000x 6782= 139943 Kcal/Hr 燃料供應熱能Heat Sup計算 =900702-540421-139943=220338 Kcal/Hr Heat Req.900702Kcal/HrHeat Rec.540421Kcal/HrHeat VOC139943Kcal/HrHeat Sup220338Kcal/Hr 暖房負荷 原理說明(flow chart)： Main Chemical Compounds分子量 M.W.分子燃燒熱(Kcal/kg)百分比(%)T99.00(1.0S)異丙醇 IPA60.00 751730.00%632.39 丙酮 Acetone 58.08 696520.00%682.22 PGMEA131.00 593125.00%546.77 PGME90.00 661123.00%509.91 MEA61.00 48211.00%708.93 DMSO73.09 6823.350.40%301.37 NMP99.00 92620.50%589.66 HMDS161.00 88570.10%658.86 ※因此將VOC燃燒的溫度730℃調整為715℃ voc濃度(ppm)熱量需求(Kcal/Hr)NG (m3/Hr)NG (NT/m3)費用(NT/Y)100 22033829.9214.65 $ 3,840,246  降低需求熱量(Kcal/Hr)NG (m3/Hr)NG (NT/m3)費用(NT/Y)SETTOTAL費用(NT/Y)45000514.65641,670 63,850,020   附件六-2 經濟部節約能源績優廠商表揚活動 無塵室壓力調降成效資料表 編號： 申請單位名稱台灣積體電路製造股份有限公司申請單位分支機構名稱台積電十四廠節約能源或抑低 二氧化碳排放主題案例