第4章电容式传感器-医学传感器总汇.pptVIP

第四章 电容式传感器;引言;;第一节 基本工作原理、结构及特点;;;;;;;;二、变面积型电容式传感器 上图是变面积型电容传感器原理结构示意图。被测量通过动极板移动引起两极板有效覆盖面积S改变，从而改变电容量。;当动极板相对于定极板延长度a方向平移ΔL时，可得： 式中 为初始电容。电容相对变化量为 很明显，这种形式的传感器其电容量C与水平位移Δx是线性关系，因而其量程不受线性范围的限制，适合于测量较大的直线位移和角位移。它的灵敏度为：;下图是电容式角位移传感器原理图。当动极板有一个角位移θ时，与定极板间的有效覆盖面积就改变，从而改变了两极板间的电容量。 ;当θ=0时，则 式中：εr ——介质相对介电常数； d ——两极板间距离； S ——两极板间初始覆盖面积。 当θ≠0时，则 从上式可以看出，传感器的电容量C与角位移θ呈线性关系。;;三、变介质型电容式传感器 变介质型电容传感器是通过改变极板间介质的相对介电常数εr来实现的。 变介质型电容传感器有较多的结构型式，可以用来测量纸张，绝缘薄膜等的厚度，也可用来测量粮食、纺织品、木材或煤等非导电固体介质的湿度。 ;;传感器总电容量C为： 式中：L0，b0——极板长度和宽度； L ——第二种介质进入极板间的长度。 若电介质 ，当L=0时，传感器初始电容： 当介质 进入极间L后，引起电容的相对变化为： 可见电容的变化与电介质 的移动量L呈线性关系。;下图是一种变极板间介质的电容式传感器用于测量液位高低的结构原理图。;设被测介质的介电常数为ε1，液面高度为h，变换器总高度为H，内筒外径为d，外筒内径为D，则此时变换器电容值为： 式中： ε ——空气介电常数； C0 ——由变换器的基本尺寸决定的初始电容值，即： 可见此变换器的电容增量正比于被测液位高度h。;; 由以上分析可知，除变极距型电容传感器外，其它几种形式传感器的输入量与输出电容量之间的关系均为线性的，故只讨论变极距型平板电容传感器的灵敏度及非线性。 由式C=C0+C0Δd/d0可知，电容的相对变化量为: 当 时，则上式可按级数展开，故得;由上式可见，输出电容的相对变化量ΔC/C与输入位移Δd之间呈非线性关系。当 时，可略去高次项，得到近似的线性： 电容传感器的灵敏度为： 它说明了单位输入位移所引起输出电容相对变化的大小与d0呈反比关系。;如果考虑级数展开式中的线性项与二次项，则： 由此可得出传感器的相对非线性误差δ为： 由以上三个式可以看出：要提高灵敏度，应减小起始间隙d0，但非线性误差却随着d0的减小而增大。在实际应用中，为了提高灵敏度，减小非线性误差，大都采用差动式结构。;下图是变极距型差动平板式电容传感器结构示意图。 当差动式平板电容器动极板位移Δd时，电容器C0的间隙d1变为d0-Δd，电容器C2的间隙d2变为d0+Δd则 ;在 时，则按级数展开： 电容值总的变化量为： 电容值相对变化量为： 略去高次项，则：;如果只考虑电容值相对变化量式中的线性项和三次项，则电容式传感器的相对非线性误差δ近似为 比较以上式子可见，电容传感器做成差动式之后，灵敏度提高一倍，而且非线性误差大大降低了。;第二节 电容式传感器的测量电路;;;;;;图中Cx为电容式传感器， 是交流电源电压， 是输出信号电压，Σ是虚地点。由运算放大器工作原理可得： 如果传感器是一只平板电容，则Cx =εA/d，代入上式有： 上式说明运算放大器的输出电压与极板间距离d线性关系。运算放大器电路解决了单个变极板间距离式电容传感器的非线性问题。;;图中调频振荡器的振荡频率为 式中： L0——振荡回路的电感； C ——振荡回路的总电容 。其中，C1为振荡回路固有电容；C2为传感器引线分布电容；而 为传感器的电容。 ;当被测信号为0时，ΔC =0，则 ，所以振荡器有一个固有频率 ： 当被测信号不为0时，ΔC≠0，振荡器频率有相应变化，此时频率为： 调频电容传感器测量电路具有较高灵敏度，可以测至0.01 μm级位移变化量。信号输出易于用数字仪器测量和与计算机通讯，抗干扰能力强，可以发送、接收以实现遥测遥控。;;电路工作原理如下： 当e为正半周