第6章压电式传感器总汇.ppt

传感器原理与应用;第6章 压电式传感器;第6章 压电式传感器;压电式压力传感器如图所示。;压电式冲击波传感器如图所示。;第6章 压电式传感器;第6章 压电式传感器;第6章 压电式传感器;6.1 压电效应及压电材料;6.1.1 压电效应;6.1.1 压电效应;6.1.1 压电效应;6.1.1 压电效应;6.1.1 压电效应;6.1.1 压电效应;6.1.1 压电效应;6.1.1 压电效应;6.1.1 压电效应; 当在同一切片的各个面上作用着多个应力时，用d1、d2、d3分别表示垂直于x、y、z轴的x面、y面、z面上的电荷密度；用s1、s2、s3、s4、s5、s6表示各个面上的应力；用dij表示应力sj对di贡献大小的系数，称为压电系数。则有;6.1.1 压电效应;6.1.1 压电效应;6.1.1 压电效应;6.1.1 压电效应;6.1.1 压电效应;6.1.1 压电效应;6.1.1 压电效应;6.1.1 压电效应;6.1.1 压电效应;6.1.1 压电效应;6.1.1 压电效应;6.1.1 压电效应;6.1.1 压电效应;6.1.1 压电效应;6.1.1 压电效应;6.1.1 压电效应;用矩阵表示的压电陶瓷的压电方程为 ;6.1 压电效应及压电材料;6.1.2 压电材料; (2)机械性能 压力元件作为受力元件，希望它的机械强度大，机械刚度大，以便获得较宽的线性范围和较高的固有频率。 (3)电性能 希望压电材料具有高的电阻率和大的介电常数，这样才能减小漏电阻分布电容的影响，使压电传感器的频率下限向下延伸。; (4)温度性能 要求压电材料具有较高的居里点，以便获得较宽的工作温度范围，这是因为居里点是压电材料开始失去压电效应的温度。 (5)长期稳定性 要求压电材料的压电特性不随时间蜕变。; 1.压电晶体 由晶体学可知，无对称中心的晶体通常具有压电效应，具有压电效应的单晶体统称为压电晶体。石英晶体是最典型而常用的压电晶体，其特点是 (1)压电系数小，但其时间和温度稳定性极好。常温下几乎不变。在20～200 ℃范围内其温度变化率仅为－0.016 %/℃; (2)机械强度和品质因数高，最大安全应力高达95～100 MPa，且刚度大固有频率高，动态特性好。 (3)居里点573 ℃。 (4)无热释电效应，且绝缘性、重复性均好。 天然石英的上述性能尤佳。 因此，石英材料常用于精度和稳定性要求高的场合和制作标准传感器。 另一种常用的压电晶体是铌酸锂，其压电系数极高，但机械性能不如石英。; 2.压电陶瓷 压电陶瓷的特点是：压电系数大，灵敏度高；制造工艺成熟，可通过合理配方和掺杂等人工控制来达到所要求的性能；成形工艺性也好，成本低廉，利于广泛应用。 压电陶瓷除了具有压电效应外，还具有热释电效应。因此它可制作热电传感器而用于红外探测中。但用作压电器件时，会造成热干扰，降低稳定性，所以不适用于高稳定性的压电传感器。; 最早使用的压电陶瓷材料是钛酸钡。它是由碳酸钡和二氧化钛按一定比例混合后烧结而成的。它的压电系数比石英大得多，但使用温度较低，最高只有80 ℃，温度稳定性和机械强度都不如石英。; 目前使用较多的是锆钛酸铅PZT系列，它是由钛酸钡和锆酸铅组成的。它有较高的压电系数和较高的工作温度。 铌镁酸铅是20世纪60年代发展起来的压电陶瓷材料。它是由铌镁酸铅、锆酸铅和钛酸铅按不同比例配成的不同性能的压电陶瓷，具有很高的压电系数和较高的工作温度，而且能承受较高的压力。; 3.压电半导体 1968年以来出现了多种压电半导体，例如硫化锌、碲化镉、氧化锌、硫化镉、碲化锌以及砷化镓等，这些材料的显著特点是，既具有压电特性，又具有半导体特性。因此既可用其压电特性研制传感器，又可用其半导体特性制作电子器件，也可以两者结合，集元件与线路于一体，研制成新型集成压电传感器测试系统。; 4.有机高分子压电材料 其一是某些合成高分子聚合物，经延展拉伸和电极化后成为具有压电效应的高分子压电薄膜，如聚氟乙烯、聚偏氟乙烯、聚氯乙烯和尼龙等。这些材料的特点是质轻柔软，抗拉强度高，蠕变小，耐冲击，声阻抗近于水和生物体含水组织，热释电效应小，热稳定性好，便于批量生产和大面积使用，可制成大面积阵列传感器乃至人工皮肤。;高分子压电材料制作的压电薄膜和电缆如图所示。; 其二是高分子化合物中掺杂压电陶瓷锆钛酸铅或钛酸钡粉末制成的高分子压电薄膜。这种复合压电材料既保持了高分子压电薄膜的柔软