基于小波能量熵与二维Zernike矩的IC芯片表面微观不平度图像检测技术研究.pdfVIP

下载本文档

2
0
约1.12万字
约 3页
2017-05-05 发布于河南
举报
版权申诉

基于小波能量熵与二维Zernike矩的IC芯片表面微观不平度图像检测技术研究.pdf

1、本文档共3页，可阅读全部内容。
2、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。
3、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击这里二次下载。
4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

基于小波能量熵与二维Zernike矩的IC芯片表面微观不平度图像检测技术研究

? 机械设计与制造? 第 ?期? ?????????? ?????? ? ???????????? ????年 ?月? 文章编号：????—????????????—????—??? 基于小波能量熵与二维 ???????矩的 ??芯片表面微观? 不平度图像检测技术研究? 梁忠伟? 张春良? 叶邦彦? 江帆? 胡晓? ??广州大学机械与电气工程学院，广州 ????????。华南理工大学机械与汽车工程学院，广州 ???????? ??????????????— ??????????????????????????????????????????????????????????????????????? ????????????????????????????????????? ???????????— ????，??????????— ??????，???????— ????，??????????，???????? ?????????????????????????????????????????????????，????????????????????，????????????????，?????????????????? ?????????????????????????????????????，????????????????????????????????????，????????????????，??????? ：? 【摘要】在 ??芯片制造检测过程中，需要完整而准确地对芯片表面形貌进行检测。针对 ??芯片表：? ÷ 面形貌检测的要求，提出了基于小波能量熵与二维 ???????矩的芯片表面微观不平度图像检测技术，并运；? ；用于高精度要求的计算机芯片图像处理工作中。通过对获得的芯片显微图像进行小波变换并求取信息熵：? ：图像的基础上，建立二维???????矩与采用??神经网络进行芯片表面不平度的识别与评定。编程实验证 ?? ；明，采用本方法可准确对 ??芯片表面微观不平度进行等级评定。? ：? ：? 关键词：芯片检测；小波分析；能量熵；二维 ???????矩?