纳米孔内气体流动的实验研究.pdfVIP

中国工程热物理学会 传热传质学 学术年会 编号：083357 纳米孔内气体流动的实验研究* 刘其鑫 姜培学 向恒 热科学与动力工程教育部重点实验室，清华大学热能工程系， 北京 100084 联系电话： （010 E-mail: Jiangpx@mail.tsinghua.edu.cn 摘要：随着 MEMS/NEMS 和生物芯片实验室（Lab-on-a-Chip ）技术的发展，了解和掌握微纳尺度流 动规律是十分重要的。当系统的特征尺寸与流体的分子平均自由程相当时，常规的连续介质假定受到 质疑，气体流动表现出一些与宏观尺度下很不相同的特性，如流动阻力系数减小。本文对空气和氩气 在纳米孔内的流动进行实验研究，得出气体在纳米孔内的流动阻力系数较宏观尺度下大大减小。 关键词：纳米孔，努生数， 流动阻力系数 1. 引言 目前，新技术的发展正朝着微/纳尺度的方向发展。在此尺度下，了解和掌握微纳 尺度流动规律是十分重要的。因此，微/纳尺度流动的研究成为一大热点。当系统的尺寸 为纳米量级时，常规的连续介质假定受到质疑。Knudesn 数是表征气体稀薄程度的无量 纲数，其定义为分子的平均自由程λ和流动系统特征尺度H 的比值，即： λ Kn （1） H 按Knudesn数的大小将气体流动分为四个区：Kn ＜0.001 为连续介质区；0.001＜Kn ＜0.1 为滑移区，N-S方程仍然适用，但需要采用速度滑移边界条件；0. 1＜Kn ＜10 为过渡区， 10＜Kn为自由分子区。Majumder等[1]实验研究了水流过碳纳米管时的流动特性，发现水 [2] [3] 在碳纳米管中流动时表现出明显的超流特性。Verwij等 和Holt等 研究了水和气体流过 碳纳米管时的流动特性，发现水和气体在碳纳米管中流动时表现出与Knudesn扩散和 Poiseuille粘性流不同的特性，其流量比Knudesn扩散和Poiseuille粘性流要大得多。Roy 等实验研究了气体流过 200 nm[4]和 10 nm[5]纳米孔的流动特性，发现流过 200 nm 的纳米 孔时，气体流动可以用Knudesn扩散描述。而气体流过 10 nm纳米孔时，测得的流量比 Knudesn扩散大几个量级但可以用滑移边界条件下的N-S方程描述。Cooper等[6]实验研究 了气体流过200 nm 的碳纳米管，认为实验结果与滑移边界条件下的N-S方程的结果符合 很好。但这些实验研究没有报道气体流过纳米通道流动阻力与宏观大体积下流动阻力的 差别，本文将实验研究气体在纳米孔内流动的阻力特性。 2. 实验系统与试验段 实验采用由纳米孔构成的薄膜作为实验段。纳米多孔薄膜由沃特曼公司生产，实验 所用薄膜的材料分两种：氧化铝薄膜和聚碳酸脂薄膜。氧化铝薄膜的电镜照片如图 1 所 示，从图中可以看出薄膜由很多直径为纳米量级的孔构成，孔的分布比较均匀。图 2 为 * 本文得到国家自然科学基金和清华大学基础研究基金(JCpy2005049)资助 薄膜的断面电镜照片，从照片中可以看见薄膜中若干纳米孔贯穿整个薄膜。利用清华大 学热能工程系煤清洁燃烧实验室的压汞仪对实验所用薄膜的孔隙率和最可几孔径进行 了测量。最可几直径分别为 61 nm、110 nm 和 226 nm，其孔隙率对应为 13.4%、12.8% 和 31.4% 。 图 1 氧化铝纳米多孔薄膜电镜照片 图2 氧化铝纳米多孔薄膜断面电镜照片 气体流过纳米多孔薄膜的实验系统如图 3 所示。系统包括高压气瓶、气体过滤器、 气体质量流量控制器、压力表。气体从高压气瓶流出，经过滤器过滤后经过气体质量流