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2017年半导体材料标准工作会议预安排 序号计划编号项目名称负责起草单位备注一、3月会议T-610区熔锗锭云南临沧鑫圆锗业股份有限公司审定T-610区熔锗锭化学分析方法 第1部分 砷含量的测定 砷斑法云南临沧鑫圆锗业股份有限公司审定T-610区熔锗锭化学分析方法 第2部分 铝、铁、铜、镍、铅、钙、镁、钴、铟、锌含量的测定 电感耦合等离子体质谱法云南临沧鑫圆锗业股份有限公司审定T-610锗晶体缺陷图谱云南临沧鑫圆锗业股份有限公司审定HYPERLINK 55:8080/TaskBook.aspx?id=YSCPX2015-0339T-YS高纯二氧化锗化学分析方法 电感耦合等离子体质谱法测定镁、铝、钴、镍、铜、锌、铟、铅、钙、铁和砷量国家有色金属质量监督检验中心审定HYPERLINK 55:8080/TaskBook.aspx?id=YSCPX2015-0340T-YS高纯二氧化锗化学分析方法 硫氰酸汞分光光度法测定氯量国家有色金属质量监督检验中心审定HYPERLINK 55:8080/TaskBook.aspx?id=YSCPX2015-0341T-YS高纯二氧化锗化学分析方法 钼蓝分光光度法测定硅量国家有色金属质量监督检验中心审定HYPERLINK 55:8080/TaskBook.aspx?id=YSCPX2015-0342T-YS高纯二氧化锗化学分析方法 石墨炉原子吸收光谱法测定砷量国家有色金属质量监督检验中心审定HYPERLINK 55:8080/TaskBook.aspx?id=YSCPX2015-0343T-YS高纯二氧化锗化学分析方法 石墨炉原子吸收光谱法测定铁量国家有色金属质量监督检验中心审定T-469锗单晶和锗单晶片南京中锗科技有限责任公司讨论T-469硅抛光片表面颗粒测试方法有研半导体材料有限公司预审HYPERLINK 55:8080/TaskBook.aspx?id=YSCPX2015-0338T-YS非本征半导体中少数载流子扩散长度的测试 稳态表面光电压法和稳态光通量法有研半导体材料有限公司预审T-469硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法新特能源股份有限公司预审T-469硅多晶真空区熔基硼检验方法江苏中能硅业科技发展有限公司预审T-469硅多晶气氛区熔基磷检验方法江苏中能硅业科技发展有限公司预审二、5月会议、T-469硅单晶切割片和研磨片有研半导体材料有限公司审定T-469硅单晶抛光片有研半导体材料有限公司审定T-469非本征半导体材料导电类型测试方法乐山市产品质量监督检验所审定HYPERLINK 55:8080/TaskBook.aspx?id=YSCPZ2016-0233T-YS多晶硅生产尾气中硅烷含量的测定 气相色谱法内蒙古神舟硅业有限责任公司预审HYPERLINK 55:8080/TaskBook.aspx?id=YSCPZ2016-0260T-YS氯硅烷中甲基二氯硅烷、三甲基氯硅烷、甲基三氯硅烷的测定 气相色谱质谱联用法内蒙古盾安光伏科技有限公司预审HYPERLINK 55:8080/TaskBook.aspx?id=YSCPZ2016-0261T-YS氯硅烷中三氯氧磷、三氯化磷、五氯化磷的测定 气相色谱质谱联用法内蒙古盾安光伏科技有限公司预审T-469晶片通用网格规范杭州海纳半导体有限公司讨论T-469确定晶片坐标系规范有研半导体材料有限公司讨论T-469硅外延片浙江金瑞泓科技股份有限公司讨论T-469硅中氯离子含量的测定 离子色谱法江苏中能硅业科技发展有限公司讨论已报协会标准计划，待批气相沉积法碳化硅涂层江苏中能硅业科技发展有限公司讨论已报协会标准计划，待批硅单晶中代位碳含量的测定 多重透射反射红外光谱法南京大学讨论已报协会标准计划，待批硅单晶中间隙氧