SEM原理及操作课件2013-11-26.pptVIP

姓名： 学号： 日期：2013-11-26;一、设备简介;2.主要部件;3.主要性能指标;二、S-4800FESEM的原理;;a.真空系统;b.电子束系统; 一束细聚焦的电子束轰击试样表面时，入射电子与试样的原子核和核外电子将产生弹性或非弹性散射作用，并激发出反映试样形貌、结构和组成的各种信息，有：二次电子、背散射电子等。 ;SEM中的三种主要信号;背散射电子BSE;三、S-4800FESEM的操作;1.开机;FE-SEM 在作样之前，必须要进行轰击（作为电子源的 FE 尖端的清洁）。在开始使用 时，轰击频率为一次。但是，电压外加时间累计超过 8 小时，发射电流开始不稳定，需要再 次轰击。 轰击后可以立即观察图象。但是在最初的 1 小时左右，有时会有图象干扰（图象中出 现明暗的横线）。进行高分辨率的观察时，最好在轰击完 1 小时以上之后进行观察。 ; （1） 点击控制面板上的加速电压显示区域，出现加速电压 HV 设定画面。 （2） 点击“Flashing”键后，出现轰击执行窗口。 （3） 确认轰击强度是否确实是“2”后，点击“执行”键。 ;样品制备简单,对样品要求较低,只要能放进样品室,都可进行观察，高度保持 在 2cm 以内，直径在 4cm 以内。但对样品的性质有特殊要求 a.化学上和物理上稳定的干燥固体，表面清洁，在真空中及在 电子束轰击下不挥发或变形，无放射性和腐蚀性。 b.样品必须导电，非导电样品，可在表面喷镀金膜。 c.磁性样品须退磁,工作距离(WD)要大于8.0mm。;样品装入;d.样品交换杆手柄旋至UNLOCK位置。 e.将组装好的样品座插在样品交换杆上。 f.逆时针旋转交换杆手柄至LOCK位置锁紧样品座。 g.将交换杆向外拉至尽头卡紧，关闭交换室按紧。 h.按下EVAC按钮。;i.EVAC按钮常亮后按下OPEN按钮 。 j.MV-1打开后，插进交换杆将样品装入到底卡紧。 k.顺时针旋转样品杆至UNLOCK位置。 l.拉出交换杆。 m.按下CLOSE按钮。;4.样品观察及拍照;样品放好后，在软件界面上选择合适的高压和发射电流，然后点击”ON”加高压，如图所示。;在软件上,根据样品特征选择加速电压Vacc(0.5kV~30kV),发射电 流Ie(1uA~20uA)和工作距离WD(1.5mm~40mm)。（工作距离根据Z轴 高度设定）;用鼠标点击 选择低倍模式，滚动???迹球寻找目标物。低倍模式下，放 大倍数在30~2k之间，观察样品整体形貌。（观察中发现图象过亮或过暗，用鼠标点击 ，自动调节对比度和亮度）;点击 选择高倍模式 ，对要观察的区域进行放大。 高倍模式下，最大放大倍数800k。 ;5.图象保存 在图象调节结束之后，可以将扫描速度设定为 Slow1-4，确定图象的质量，若对图象质量比较满意，则点击捕捉“1280”按钮，捕捉的图片将出现在 SEM 窗口下方。可以 选中自己需要的图片，点击保存“Save”按钮，在弹出的对话框中选择文件保存位置， 输入文件的基本信息后保存。 ;6.结束观察 点击 Off 按钮关闭高压，同时点击“Home”按钮，使样品台各驱动杆回到初始位置。在还原到初始位置的过程中“Home”显示为灰色。当“Home”颜色变成黑色时， 表明各驱动杆已经回到初始位置，这时依照装入样品的方式反序取出样品。 ;7．日常关机 点击 S-4800 主窗口的关闭键，在弹出来的确认窗口点击“OK”关闭软件。在整个软件关闭后关闭 Windows,最后关闭 Display 电源开关。整个 SEM 的操作结束。 ;