单晶硅磨削过程分子动力学仿真并行算法.pdfVIP

维普资讯 学兔兔 第44卷第2期 机 械 工 程 学 报 v。1．44No．2 2008年 2月 CHINESEJOURNALOFMECHANICALENGINEERING Feb． 2008 单晶硅磨削过程分子动力学仿真并行算法木 郭晓光 郭东明 康仁科 金洙吉 (大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室 大连 116021) 摘要：建立单晶硅超精密磨削过程的三维分子动力学仿真模型，分析分子动力学仿真串行程序特点和并行仿真的可行性，提 出基于区域二次划分的分子动力学仿真并行算法。编制并行仿真程序，进行分子动力学仿真，从瞬间原子位置图方面分析单 晶硅超精密磨削过程的加工机理。将并行仿真结果与串行程序仿真结果进行对比分析，从瞬间原子位置图和系统能量方面验 证并行程序结果的正确性，在仿真规模和计算时间方面并行程序有很大优势，从而说明并行仿真程序是有效的，可以应用在 不同原子规模的分子动力学仿真计算中。 关键词：分子动力学仿真 并行算法 区域分解 中围分类号：TG_580．1 ParallelAlgorithm inM olecularDynamicsSimulation BasedonMonocrystalSiliconGrinding GUOXiaoguang GUODongming KANGRenke JINZhuji (KeyLaboratoryforPrecisionNon一~aditionalMachimngofMinistryofEducation， DalianUniversityofTechnology，Dalian116021) Abstract：A3Dgrindingmoleculardynamics(MD)simulationmodelofmonoerystalsiliconisestablished．Thecharacteristicsof IVlD sreialprogram andthefeasibilityofparallelsimulationarepresented．AnIVlD simulationparallelalgorithm inwhichhtedomain isdecomposedtwiceisdeveloped．Parallelprogram ismadeandexecuted．Fromhteviewpointofhteinstantaneousdistributionof atoms,htemcehanism ofmonoerystalsilicongrindingprocessisanalyzed．Inaddition．throughhteeomparisonofhteres1lI乜bewt een theserialnadhteparallelsimulations，itisprovedhtathteresultsofhteparallelsimulationisreliable．From hteviewponitofsimula- tionsizenadcomputationtime，hteparallelprogramhasgreatadvnatageoverhteserialprogram．Inconclusion，theparallelprorgma iseffcetivenadCna beusedinIVlDsimulationsofhtesystemwiht differentsizes． Keywords：Moleculardny amicssimulation Parallelalgorithm Domanidecomposition 验方法、有限元模拟方法以及分子动力学模拟方