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【2017年整理】光刻与刻蚀工艺流程.pptVIP

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  • 2017-05-06 发布于浙江
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【2017年整理】光刻与刻蚀工艺流程.ppt

    【2017年整理】光刻与刻蚀工艺流程

    光刻、显影工艺简介;光刻胶概述;+PR -PR;+PR -PR基本原理;+PR -PR 树脂分子结构;光刻基本步骤;详细光刻工序;光刻胶涂布-辊涂法 ;光刻胶涂布-丝网印刷法 ;光刻胶涂布-旋转涂布法 ;预 烘（前烘）;Mask制作;曝光剂量 ;曝光时间差异;;;

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