第二章纳米科技的典型研究方向_2﹝5﹞.pptVIP

上节重点 纳米科技的分类； 摩尔定律及其遇到的严重挑战； 纳米电子学； 典型的纳米电子器件； 纳米计算机。 应对摩尔定律的挑战，实现纳米电子器件及其集成电路的两种可能方式---- 1. 现有的集成电路进一步微型化 研究开发更小的最小线宽的加工技术来加工尺寸更小的电子器件。 2.利用纳米结构的量子效应，研制全新的量子结构体系 包括新型的量子效应电子器件和零维量子点、一维量子线和二维量子阱等。 换句话说： MEMS的特点 具体研究内容（三个基本方面） 1. 基础理论研究 在当前MEMS所能达到的尺度下，宏观世界基本的物理规律仍然起作用，但由于尺寸缩小带来的影响，许多物理现象与宏观世界有很大区别，原来的理论基础都会发生变化，如力的尺寸效应、微结构的表面效应、微观摩擦机理等，因此有必要对微动力学、微流体力学、微热力学、微摩擦学、微光学和微结构学进行深入的研究。 这一方面的研究往往需要多学科的学者进行基础研究。 基础理论研究 1. 尺度效应和表面效应 2. 微流体力学 3. 力学和热力学基础 4. 微机械特性和微摩擦学 5. 微光学的基础理论 2. 技术基础研究 分为以下几个方面： （1）设计与仿真技术； （2）材料与加工技术； （3）封装与装配技术； （4）测量与测试技术； （5）集成与系统技术等。 3. 应用研究 开发各种制造MEMS的技术，将MEMS技术与航空航天、信息通信、生物化学、医疗、自动控制、电子以及兵器等应用领域相结合，制作出符合各领域要求的微传感器、微执行器、微结构等MEMS器件与系统。 纳米武器 纳米武器：利用纳米技术将武器做得很小,或者将武器建立在纳米级材料基础上。由于与传统武器制造方法有很大区别，武器性能也就很有别于常规武器。 微型传感器；MEMS的重要组成部分。1962年第一个硅微型压力传感器问世，开创了MEMS的先河。现在已经形成产品和正在研究中的微型传感器有：压力、力、力矩、加速度、速度、位置、流量、电量、磁场、温度、气体成分、湿度、pH值、离子浓度和生物浓度、微陀螺、触觉传感器等等。 微型传感器正朝着集成化和智能化的方向发展。 微型执行器；微型电机是一种典型的微型执行器，可分为旋转式和直线式两类；其它还有微开关、微谐振器、微阀、微泵等。把微型执行器分布成阵列可以收到意想不到的效果，如：可用于物体的搬送、定位，用于飞机的灵巧蒙皮。微型执行器的驱动方式主要有：静电驱动、压电驱动、电磁驱动、形状记忆合金驱动、热双金属驱动、热气驱动等等。 制造技术的发展方向—— 超精密加工：加工精度将达到1nm，包含超精密切削、超精密磨削研磨和精密特种加工等三个方面。大大提高产品的性能和质量，稳定性和可靠性，促进产品的小型化，增强零件的互换性，提高装配生产率，促进自动化装配。 微机械加工：微型机械尺寸在1nm～1μm的机械。集微型机构、微型传动器以及信号处理和控制电路，甚至外围接口电路、通讯电路和电源等为一体的微型机电系统，远超出了传统机械的概念和范畴，其应用领域相当广泛。 超高速切削：IBAG公司推出的静压轴承电主轴，使用寿命大约2万小时；目前国际市场上电主轴最高转速可达15万r/min或更高转速。高速NC机床快移速度也达120m/min，进给加减速度发展到2g。在工作可靠性上，机床无故障工作时间达到20万小时。 纳米技术对制造业的影响 从根本上改变传统的压、切、铸、车、铣、刨、磨等制造方式，从分子和原子开始制造产品：纳米装配机处理原子就象计算机处理信息一样，不花成本。 随着电子、机械产品微小化的发展趋势，未来10年，微机械（Micromachine）与微机电MEMS产业将逐渐取代半导体产业成为主流产业，为此日本、美国一些著名企业均开始加强其 MEMS组件／模块制造能力。 2.2.5 MEMS的典型应用 喷墨字头： 原理：由喷嘴、 喷嘴板（具小孔）与硅质容槽板（具有墨水槽、振动板）所构成的三层结构。 制作步骤：三维多段干式蚀刻技术(DEEP-RIE 深层干式蚀刻+多段光学平版印刷)制作多段喷嘴，再利用兩段异方性湿式蚀刻制作高精度硅质容槽，之后制作高平坦度的振动板，最后再用阳极接合技术將上述元件組合成高精度电极间距(air gap)。 纳米机器人 美国研制出一种被认为是世界上最小机器人的纳米机器人。这种机器人可以代替人去完成许多危险的工作，如排除地雷、以及寻找失踪者。这部机器人仅重约28克，体积约几立方厘米。它还拥有一个智慧的“大脑”和灵活的“腿”，这种超小型机器人能放在硬币上。 　 静电浮动式三轴加速传感器 加速传感器广泛应用于地震仪、車用安全汽囊、遥控設备(robotics)等领域，传统的加速感应器通常是用梁柱支支撑重锤，加速时是将重锤的变位转换成静电量或是压电器的阻