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一种提高显微数控平台控制精度的细分驱动算法
机械 设计 与制造 第5期
188 Machinery Design Manufacture 2010年 5月
文章编号:1001—3997(2010)05—0188—03
一 种提高显微数控平台控制精度的细分驱动算法术
邓耀华 0 吴黎明 张力锴 陈景郁 t 苏振锐
(广东工业大学 信息工程学院,广州 510006)(华南理工大学 机械与汽车工程学院,广州 510643)
Micro-driveralgorithm forimprovingthemotionprecisionofmicroworkbench
DENGYao—hua._.WULi-mingI,ZHANGLi—kai1CHENJing—yuI,SUZhen—rui
(CollegeofInformationEngineeringGuangdongUniversityofTechnology,Guangzhou510006,China)
(SchoolofMechanicalandAutomotiveEngineeringSouthChinaUniversityofTechnology,Guangzhou510643,China)
l 摘【 要】高精密显微数控工作台是Ic晶片自动光学检测的核心部件之一,其运动精度直接影响光 ;
{学检测设备的分辨力,工作台的运动速度和加速度会影响整个Ic晶片检测的工作效率。首先给出了高精 i
l度工作台的机械设计和工作台嵌k/.式控制结构,然后针对工作台的驱动精度进行研究,深入分析了驱动 }
i电机细分控制中的正余弦细分控制方法,使用细分表查表算法进行计算,分析了查表法存在的不足方面,;
{提出了多级细分控制算法,利用圆的多边形逼近算法动态计算细分电流值,保证了高次细分情况下电机 j
l线圈电流矢量的均匀性,使得微步距角的分配更均匀,有效的提高了工作台运动的平稳性和控制精度,为 i
iIc晶片的精密检测提供了可靠的保证。 ;
{ 关键词:Ic晶片检测;高精度工作台;自适应细分;逼近算法;嵌入式 j
; A【bstract】HighprecisionworkbenchisoneofthekeycomponentsofIC ropticsautomatic:
}measurementsystem,whichmovementprecisionwouldaffecttheresolvingpowerofopticsmeasurementl
;system,andthespeedofmovingandaccelerationofitwouldaffecttheefficiencyofthewholesystem. e;
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