纳米工作台定位控制研究.pdfVIP

纳 米 工作 台定 位 控 制研 究 口 韩 颖 口 陆林海 上海大学 机 电工程与 自动化学院 上海 200072 摘 要：介绍了基于宏微两级驱动方式的纳米工作台定位系统，重点在对宏微动态切换时宏动台固定与否对其 自身 振动情况的影响进行测试分析 。研究表明，宏动 台被锁定后可 以明显减小其台面振动幅度 ，对后面微动 台以及整个系统定 位精度的提高起着关键性作用。 关键词 ：纳米工作台 精密定位 宏运动 微运动 中图分类号：TP202．2；TP23 文献标识码：A 文章编号：1000—4998(2009)01—0007—03 随着 现代 科 技及 工业 技 术 的迅 速 发展 ，纳米 测 量 系统 、PMAC卡控 制器 、激光 干 涉 仪标 定 系统 、计算 机 已成为 当今测量领域 的焦点 ，精密定位技术也越来越 系统 、以及隔振 消 噪装置 (气浮 隔振平 台)等 。 广泛地 应用 于众 多学科 领域 。如 ：精 密仪器 、机床 加 工 、 Ic工 艺制 造 、计算 机外 围设 备 、生物 细胞 操作 等 。精 密 定位 的精度 和分 辨率 已从 过去 的毫 米级 过渡 到了微 米 级 、从 亚微米 级进入 到纳米 级 。本文研 究 的是基 于宏 微 两级驱动 的纳米 定位工作 台，宏动工作 台采用交流伺 服 电机 与滚 珠丝 杠 直 接 连接 宏定位 ，在保 证 大行程 运 动 的同时 ，还要确保系统运动 的高精度 ，因此 ，在宏动 工 作 台面上 安装微 动 台 ，采 用压 电陶瓷驱 动 ，通 过计算 动态 切换 到微 动 台进行微 位 移补 偿 ，进 而 实现大 行程 纳 米 级精 密 定位 。该 技 术 涉及 到精 密机 械 、计 算机 、光 学 、自动控 制 、精密 测量 等众 多学科 领域 。 1 宏微两级定位系统 宏 微 两级 工 作 台 的工 作 原理 是 ：由主 控 计算 机通 纳米 定位 工作 台定位 系统 的总体 方 案 ：采 用宏 微 讯界面发 出指令控制整个系统定位 ，首先发 出预设位 两级驱动方式 ，由交流伺服 电机 与滚珠丝杠直接连接 置指令使宏定位系统工作 ，带动两级工作 台一起运动 ， 实现宏 动 工作 台大行程 运 动 ，微位 移则 由压 电陶瓷驱 当检测到 的定位误差小于切换 阈值 时 ，完成宏定位 ；此 动 的微动 台来 实现 ，达 到系统 的 目标位 置 。宏 动 台定位 时 ，计算机控制动态切换 到微 定位系统 ，由微定位系统 精度为 ±1 m，因此本系统宏微两级 的切换 阈值为 10 控制微 动工作 台进 而达 到系统要求 的 目标 位置 。 m。图1是 纳米 定位 工作 台装 置 图 。该 系统主要 组 成部 2 宏动工作台及宏定位系统 分有 ：宏微 两级工 作 台及 驱动 控制 系统 、光栅 测量 反馈 -k国家 “863”高技术研究发展计划项 目(编号：2002AA404450) 宏 动 台运 动 由交流 伺服 电机 驱动 滚珠 丝杠螺母 机 教育部高等学校重点学科建设资助项 目(编号：Y0102) 构 实现 (如 图2所 示 )，该机 构 是 目前研究得 最成 熟 、应 上海市重点学科建设资助项 目：(编号 ：BB67) 用最广泛 的一种工作 台形式 ，具有很好 的可靠性和稳 收稿 日期：2008年6月 定性 ，维护简单 ，易于在实 际生产 中应用 。 ofVelocitiesandAccelerationsinKinematicsChainwithUncer． [9】 王善，何键．导弹结构可靠性 [M】．哈尔滨：哈尔滨工程大学 tainty J【]．ASMEJournalofMechanismsTransmissionsinDe． 出版社 ，2002． sign，1991，13．