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超光滑表面非接触测量方法研究
第2期 机械 设计 与制造
2011年 2月 Machinery Design Manufacture 21l
文章编号：1001—3997(2011)02—0211—02
超光滑表面非接触测量方法研究
杨险峰 黄 强
(九江学院 数控技术与应用重点实验室，九江 332005)
Non-contactmeasurementmethodofsuper——smoothsurface
YANGXian—feng，HUANGQiang
(KeyLaboratoryofNumericalControlTechnologyandApplication，JiuJiangUniversity，jiujiang332005，China)
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； 【摘 要】针对超光滑加工表面，提 出了一种有效的非接触式定量测量模型，利用维纳滤波消除了 ÷
?干扰并恢复了信号。通过建立后续电信号处理系统，提高了测量的效率和精度 。 ?
： 关键词：定量测量模型；维纳滤波；后续电信号处理 ：
÷ 【Abstract】Processingforsuper-smoothsurface，itisproposedthatanefficientnon—contactquantita- ；
?tiremeasurementmodel，theuseofwienerfilteringtoeliminatetheinter厂erenceandrestorethesigna1．?
ithroughtheestablishmentofsubsequentsignalprocessingsystem， efficiencyandaccuracyofthemea—i
isu九玎凡tisehance i
； i
Keywords：Quantitativemeasurementmodel；W ienerfilter；Subsequentsignalprocessing
中图分类号：TH742 文献标识码 ：A
1引言 起的相位变化。被测样品的相位…A0数学模型：
微电子 、微加工等技术的不断发展和广泛应用，使得对一些 A0=-一in1一(~o4s) -，¨．△ (1)
关键零件表面精度的要求越来越高，需要达到纳米级甚至原子
式中：△(D—Nomarski棱镜引入的相位差；—干涉场中的残存光强。
级。相应地，实现零件的超光滑表面的检测技术越来越受到重视。
目前，超光滑表面测量技术主要有两种：一种是触针法接触式测
量。该方法采用机械电子传感器的探针与测试样品表面接触，沿
其表面横向扫描移动。在扫描过程中，探针因为样品表面微观高
低起伏而产生垂直于样品表面的微位移。这种微位移被转换成 电
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