基于光学鼠标传感器的中远距离微位移测量装置的设计.pdfVIP

· 机械制造 · 黄辉，等 ·基于光学鼠标传感器的中远距离微位移测量装置的设计 基于光学鼠标传感器的中远距 离微位移测量装置的设计 黄辉 ，傅惠南，库才高 (广东工业大学 机电工程学院。广东广州 510006) 摘 要 ：在单晶金刚石弹性研磨过程中，测量研磨盘浮动的涡流传感器与盘面的距 离较 小， 不利于研磨盘的调整。为了提高测量距离，提出了一种基于光学鼠标传感器ADNS3080的中 远距离的微位移测量方法．分析 了测量原理 ，对测量系统的光路、显示窗口、数据的存储、测 量软件部分进行了设计。并通过试验证明该方法能实现 中远距离微位移的测量。 关键词：位移测量 ；光学鼠标传感器；中远距离；微位移 中图分类号：TH12 文献标志码 ：B 文章编号：1671·5276(2012)06—0018—03 DesigningofLong-rangeDistanceM icro-displacement MeasurementDeviceBasedonOptical-mouseSensor HUANG Hui．FU Hui—nan．KU Cai-gao (FacultyofElectromechanicalEngineering，GuangdongUniversityofTechnology，Guangzhou510006，China) Abstract：Intheprocessofthesingle-crystaldiamondflexiblegrinding，thedistancebetweeneddycurrentsensorusedtomeas— urethefloatingofgrindingplateandsurfaceofgrindingplateistooshorf，whichcausesdifficultyforadjustingthegrindingplate． Toenlargethemeasuringdistance，thispaperproposesamethodoflong-rangemicrodisplacementmeasurementbasedonopti‘ calmousesensorADNS3080，analyzesthemeasurementprincipleanddesignstheopticalpathofsystem，displaywindow，data storage，measuringsoftware．Itisprovedthatthismethodcouldrealizelong-rangemicro。displacementmeasurementthrough test． Keywords：displacement-measurement；optical-mousesensor；long-rangedistance；micro-displacement 素，通过对相邻2张图像里同一个特征像素的位置变化的 0 引言 比较 ，就可以计算得到2张图像拍摄时间间隔内的物体移 动的方向和大小。 在单晶金刚石弹性浮动研磨过程中，需要测量研磨盘 面的浮动情况，通过调整研磨盘来减小盘面对金刚石的冲 击从而保证更好的表面加工品质…。目前用来测量盘面 浮动的方法主要采用涡流传感器，涡流传感器只能实现几 十个毫米之内的高精度测量 ，而小范围内的测量不利于对 研磨盘的调整，因此需要一种中远距离、保证精度 、操作方 便 、经济实用的测量系统。为此本文设计了一种基于光学 鼠标芯片ADNS3080的中远距离位移测量装置 ，并能实时 图1 光学传感器测量原理 显示位移和坐标。 1．2 测量装置原理 1 基于ADNS3080的测量原理