VASE 椭偏仪 - 西安理工大学现代分析测试中心.doc

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2017-05-07 发布于天津
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椭偏仪仪器型号生产厂家美国公司主要特点是一款性能出众的通用型椭偏仪它可以测量各类材料半导体电介质聚合物金属多层膜等等在宽的可选光谱范围内融合了高准确性及高重复性的相位延迟技术可变角度及可变波长拓展了测试能力可以轻松完成下列参量的测试反射及透射椭偏通用椭偏术各向异性延迟双折射反射及透射强度交叉偏振退偏散射穆勒矩阵高精度模式扩展应用表面粗糙组分比折射率梯度分布膜面均匀性光学各项异性测量应用领域半导体光伏产业平板显示存储生物医药化学电化学光学镀膜和保护膜减反膜透明导电膜聚合物膜自组装膜光刻材料等单层薄

VASE 椭偏仪 VASE Ellipsometer 仪器型号：VB-400 生产厂家：美国J.A.Woollam公司主要特点：VASE是一款性能出众的通用型椭偏仪，它可以测量各类材料：半导体、电介质、聚合物、金属、多层膜等等。在宽的可选光谱范围（2501700 nm)内，融合了高准确性及高重复性的相位延迟技术。可变角度及可变波长拓展了测试能力，可以轻松完成下列参量的测试：反射及透射椭偏；通用椭偏术 (各向异性, 延迟, 双折射)反射及透射强度交叉偏振 R/T退偏散射穆勒矩阵——0.1 ~ 3 s/nm；高精度模式——20 s/nm 扩展应用：表面粗糙，组分比、折射率梯度分布、膜