现代检测及仪器-MEMS传感器与数字传感器-2016-2精要.ppt

主要应用领域 机械特性检测 土木结构状态监测 汽车 机器人 自动化 地震记录 结构主动控制 卫星导航、武器制导 消费电子 生物医疗 应用/功能/传感器类型 2)微传感器的特点 (1) 微机械传感器的优点 (a)传感器性能得到极大提高 信号在传输前放大，减少了干扰和传输噪音，提高信噪 比；在芯片上集成反馈线路和补偿线路，可改善输出的线性 度和频响特性，降低误差，提高灵敏度。 (b)具有阵列性 在一块芯片上集成敏感元件、放大电路和补偿线路；把 多个相同的敏感元件集成在同一芯片上。 (c)良好的工艺兼容性 便于与微电子器件集成与封装 (d)成熟的硅微半导体加工制造工艺 可批量生产，成本低廉（包含测试成本）。 2)微传感器的特点 (2) 微机械传感器的突出特征 敏感结构的尺寸非常微小。典型尺寸在?m或亚?m级；体积只有传统传感器的几十分之一乃至几百分之一；质量从kg级下降到g级，仅十几至几g。 微传感器绝不是传统传感器按比例缩小的产物，其基础理论、设计方法、结构工艺、系统实现以及性能测试和评估等都有许多自身的特殊规律与现象，必须进行有针对性的理论与试验研究。 4)微传感器中敏感结构的模型问题 (1) 微尺度效应： 敏感结构的尺寸非常微小，典型尺寸在?m级或亚?m级，分析、研究其工作机理，需