液膜电化学刻蚀法制备纳米电极的数学模型.pdfVIP

设计 ·研究 《电加工与模具)2016年增刊1 液膜电化学刻蚀法制备纳米电极的数学模型 吴修娟 ，王红军 ，曾．永彬 ，房晓龙 (1．南京工业职业技术学院机械工程学院，江苏南京 210023； 2．南京航空航天大学机电学院，江苏南京 210016) 摘要：介绍了液膜电化学刻蚀法制备纳米电极的原理及过程。根据钨棒刻蚀后的几何形状、电 化学反应的基本原理及液体表面张力相关理论 ，建立 了纳米 电极制备的数学模型，为液膜电化学 刻蚀法制备纳米电极奠定了理论基础。 关键词：液膜 电化学刻蚀 ；纳米电极；纳米 电解加工；数学模型 中图分类号：TG662 文献标识码 ：A 文章编号：1009—279X(2016)S1—0043—04 M athematicalM odeloftheLiquidM embraneElectrochemicalEtchingofaNano-electrode WuXiujuan，WangHongjun，ZengYongbin2,FangXiaolong2 (1．Schoo1ofMechanicalEngineering，NanjingVocationalInstituteof IndustryTechnology，Nanjing210023，China； 2．CollegeofMechanicalandElectricalEngineering，NanjingUniversityof AeronauticsAstronautics，Nanjing210016，China) Abstract：The principle and the processofpreparing nano-electrode by liquid membrane electrochemicaletchingwereintroduced．Th emathematical modelwasbuiltbasedon thegeometric shapeoftungstenrodafteretching，thebasicprincipleofelectrochemicalreactionandthetheory of liquidsurfacetension，whichestablishedthetheory foundationfortheliquidmembraneelectrochemical etchingofanano-electrode． Key words：liquid membrane electrochemical etching；nano-electrode；nano-electrochemical machining；mathematicalmodel 随着航空航天、通信、电子设备等行业对微型 宽约2oonm的三角形[51。 化产品的需求，纳米制造技术成为学术界研究的焦 制备纳米 电极是进行纳米 电解加工的前提。常 点。纳米制造技术[1卅主要包括 ：电子束刻蚀技术、聚 见的纳米 电极制备方法有聚焦离子铣削、机械剪 焦离子束刻蚀技术、飞秒激光加工技术、扫描探针 切、电化学刻蚀等。电化学刻蚀法是一种低成本且 加工技术及纳米 电解)jn-r技术等。纳米电解加工是 操作相对简单的制备方法 。Oliva采用电化学刻蚀的 一 个 电化学溶解的过程 ，它具有不可替代的优点， 方法制备出了针尖 圆弧半径为 35nm 的STM探针 如 ：没有工具磨损，没有加工应力，加工表面质量 [61。 Khan利用动态电化学刻蚀技术制备出了针尖 圆 好，不受材料本身强度、硬度和韧性的限制。因此， 弧半径小于 10nm的SPM探针用。胡小唐教授提出