大型衍射光栅刻划机微定位系统控制器设计 .pdfVIP

学兔兔 第36卷 第2期 仪 器 仪 表 学 报 Vol_36No．2 2015年2月 ChineseJournalofScientificInstrument Feb．2015 大型衍射光栅刻划机微定位系统控制器设计木 糜小涛，于宏柱，高键翔，于海利，张善文，齐向东 (中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 长春 130033) 摘 要：针对衍射光栅刻划机开环控制的定位精度不能满足指标要求的问题，在刻划机已有的状态和结构下 ，设计 了微定位 系统的控制器。首先，介绍了衍射光栅刻划机，分析了微定位系统及其定位精度指标。然后 ，运用系统辨识 的方法，设计 了 微定位系统的扫频实验，建立其数学模型。接着，提出了在已有数学模型的基础上，运用实际测量数据和 MATLAB／Simulink 软件仿真试凑来设计控制器的方法，并设计 了满足精度指标要求的控制器。最后 ，将设计的控制器应用于微定位系统并进行 模拟刻划实验，实验结果可知：所设计的微定位系统控制器定位精度基本满足指标要求，其 中峰一峰值小于40nm，RSM值总 体略大于2．8nm。 关键词 ：微定位系统；控制器设计；数学模型；定位精度 中图分类号：TP273 TH113．2 文献标识码：A 国家标准学科分类代码：510．80 Designofthecontrollerofthem icro—positioningsystem forlarge diffraction gratingrulingengine MiXiaotao，YuHongzhu，GaoJianxiang，YuHaili，ZhangShanwen，QiXiangdong (ChangchunInstituteofOptics，FineMechanicsandPhysics，ChineseAcademyofSciences，Changchun130033，China) Abstract：Aimingattheproblem thattheopen。loopcontrolpositioningaccuracyofdiffraction gratingrulingengine doesnotmeettherequirementofthespecification，thecontrollerofthemicro—positioningsystem wasdesignedunder theexistingstateandstructureconditionsofthediffractiongratingrulingengine．Firstly，thediffractiongratingrul- ingengineisintroduced，themicro—positioningsystem ofthediffractionrgatingrulingengineanditspositioningaccu- racyspecificationareanalyzed．Then，usingthesystem identificationmethod，the~equencysweepexperimentofthe micro—positioningsystem isdesigned，anditsmathematicalmodelisestablished．Andthen，onthebasisoftheexist— ingmathematicalmodel，adesignmethodisproposed，whichusestheactualmeasurementdataandMATLAB／Simu- linksoftwaretodesignthecontrollerwithsimulation andtria1．Usingthismethod，thecontrollerthatmeetsthere-