大型中阶梯光栅衍射效率测试仪器设计与集成 .pdfVIP

学兔兔 第 36卷 第 9期 仪 器 仪 表 学 报 Vo1．36No．9 2015年 9月 ChineseJouma1ofScientificInstrument Sep．2015 大型 中阶梯光栅衍射效率测试仪器设计与集成 木 何 煦 ，成 贤锴 (1．中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 长春 130033； 2．中国科学院苏州医学工程技术研究所 苏州 215163) 摘 要：光栅衍射效率反映光栅的设计与刻划质量 ，对于使用者和制造者均至关重要。针对国内首台500mm×400mm中阶梯 衍射光栅刻划机的研制，有必要构建相应的衍射效率测试系统 ，以定量评价光栅的制作水平，为光栅设计与制造工艺的改进提 供必要的测试手段。基于串联色散相减原理，改进了常规 C—T结构的测量单色仪光路，并对前置单色仪 、测量单色仪光路进行 联合优化，设计了待测光栅多维调整台、探测器组件等。提出了N．A．为0．1的三光栅扫描前置单色仪的标定方法，以及测试仪 器的系统误差修正方法。前置单色仪标定结果表明，其在 190～1100nm光谱范围内的波长输出精度为 ±2nm，程控狭缝开启 精度为 0．002mm。修正后的衍射效率测量精度为 2％，重复精度为0．5％。初步的测量结果显示，测试设备可以满足 500mm×400him中阶梯光栅衍射效率定量检测需求 ，在工作谱段内实现衍射效率一波长连续曲线的自动测量。 关键词：中阶梯光栅；衍射效率 ；测试仪器；设计与标校 中图分类号 ：TH741．4 文献标识码：A 国家标准学科分类代码：460．4035 Designandintegrationofthemeasurementinstrumentfordiffraction efficiencyoflargeechelle HeXu ，ChengXiankai (．ChangchunInstituteofOptics，FineMechanicsandPhysics，CAS，Changchun130033，China； 2．SuzhouInstituteofBiomedicalEngineeringandTechnology，CAS，Suzhou215163，China) Abstract：Diffractionefficiencyreflectsthedesignandurlingqualityofgrating，whichisessentialfortheusersandmanufacturers．Ai— mingatthedevelopmentofChina’Sfirst500 mm ×400mm echellerulingmachine．itisnecessarytoestablishameasurementinstru- mentofrthediffractionefficiencytesttoquantitativelyevaluatethemanufacturelevelofgratingandprovidenecessarytoolsforthegrating designandmanufactureprocessimprovement．Based onserialdispersion subtractionprinciple，theopticalpath ofconventionalC-T sturcturedmeasuringmonochromatorisimproved．Theopticalpathbetweenpre—monochromatorandmeasurementmonochromatorisopti— nlizedjointly．Themuhidimensionalad