激光干涉仪的一种快速精准校光方法——等比例偏幅调整法.pdfVIP

Technol ogy and砌Z艺与检测 激 光 干 涉 仪 的 一 种 快 速 精 准 校 光 方 法 — — 等 比 例 偏 幅 调 整 法 史佳兆 ( 广州市珠江机床厂有 限公司研究院电气部 ，广东广州511450) 摘要 ：主要针对激光干涉仪在使用 的时候，光路校准比较费时的问题 。从激光干涉仪校准的原理及误差 出 现原因着手分析，提出了一种快速精准的校准方法，即等比例偏幅调整法。通过此方法工人可以按照 一定的规范步骤快速准确地校准光路。提高工作效率。 关键字 ：激光干涉仪；快速 ；精准；校光 中图分类号：TI 玎41 文献标识码：A Af ast and a ccur at e a dj us t ment met hod of I as er i nt e r f er ome t er ——adj ust ment a cc or di ng t o pr opor t i onaI met h od SHI i az hao ( E1ect r i cal De pt ． of Rese ar ch Academy ，Guangzhou Pear l Ri ver Machi ne Too l Wor ks Co ．，Lt d．，Gua ngzhou 511450，CHN) Abst r act ：Thi s pa pe r ma i nl y a i ms at t he opt i c al cal ibr at i on t i me—c on sumi ng pr obl em of l as er i nt e r f er omet er ，f 而m t he l as er i nt eI f er ence and t he eI Tor cal ibr at i on cau ses t o a f a st and accur at e pr i nci pl e ana l yze ，pr e sent s adj us t men t met hod t hat i s adj us t men t ac cor di ng t o pr opor t i onal met hod ， by t h i s met ho d， wor k er s ca n cal ibr at e l i ght pa t h qui ckl y and accur at el y ac cor di ng t o cen ai n st eps ，an d t he n i mpr ov e wor k emci ency ． Keywor ds ：l a s er i nt ed ．er omet er ；f a st ；a ccur at e ；opt i cal pa t h adj ust men t 随着高精度数控机床行业的快速发展，激光干涉 波，当此光束抵达偏振分光镜时，会被分为两道光束 仪在机床行业的使用越来越广泛，然而其在使用过程 ( 一道反射光束和一道投射光束) ，在这两道光射向其 中对激光光路的准直调整却一直是困扰广大激光干涉 反光镜，然后透过分光镜反射回去，在激光头内的探测 仪用户的一大问题，因为激光干涉仪在使用过程中光 器形成一道干涉光束，若光程差没有任何变化，探测器 路准直调整 占用 了很大一部分时间。目前大多数生产 会在每一次光程改变时，在相长性和相