表面粗糙度评定由二维向三维转化综述.pdfVIP

StandardsResearchl标准研究l 机械工 表 粗糙度评定 业 标准 二维向三维转化综述 化 与 质 万向集团公司技术中心口杨建虹 量 摘 要 本文论述 了表面粗糙度评定技术的最新标准化进展 ．重点从三维表面结构评定 躁 方面阐述了测量方法的分类、测量参数的定义和测量基准数字化定义等方面内容。 0∞ 关键词 表面粗糙度 区域法 表面结构 船 舶 Co 1 引言 接触式测量仪器。这种分类方式并没有和仪器原 0 N 理特征及测量表面特征结合起来． 并不 能直接 表面粗糙度标准的提出和发展与工业生产技 地让用户了解其使用范围 通用性很差。因此 ， ， 术的发展密切相关，它经历了由定性评定到定量 ISO 5178—6：2010 《产品几何技术规范 (GPS) 评定两个阶段。随着制造技术的飞速发展、工艺 表面结构区域法 第 6部分 ：表面结构测量方 水平的不断提高．对零件表面质量的评定提 出了 法的分类》对测量方法进行 了重新分类。它把 更高的要求。表面结构评定方法也从对单一的二 测量表面结构的方法分为三大类 ：线轮廓法 、 维形状误差、波度、表面粗糙度的分离评估。逐 区域形貌法和区域特征集成法 ．并描述 了各种 步发展为对三维表面功能的综合评定 表面结构 类别之间的关系 这种测量方法的分类有助于 的三维评定方法可以从区域表面获取信息 。给出 选择和理解不 同类别 的测量方法 ．并判断哪个 研究表面的直观图像以及与表面形成机理相关的 标准适用于测量要求 此分类方式尽可能做到 丰富信息。 通用性强 测量表面结构的三大类方法见如图 1 所示。 2 表面结构的测量方法 图 1中， 为z (1，)轮廓 的精度与采用的 随着制造技术的飞速发展、工艺水平的不断 方法有关。并由每种方法确定；“为依赖圆周扫 提高 ．对零件表面质量的评 定提 出了更高的要 描生成z ()轮廓 ；” 为 STM和 AFM方法 ， 求 表面结构评定方法也从对单一的二维形状误 也可归类于扫描探针显微法 (SPM)。SPM还可 差、波度、表面粗糙度的分离评估 ，逐步发展为 包括近场扫描光学显微法 (NSOM／SNOM)与 对三维表面功能的综合评定 检测仪器也从最初 扫描电容显微法 (SCM)，这些方法也可开发为 的触针式轮廓测量仪器 ．发展到今天琳琅满 目的 或直接采用为表面形貌测量方法。图标表示每类 各种光学测量仪器及触针式测量仪器等。传统上 测量方法所产生数据的类型 对这些检测仪器的分类．仅从仪器是否和测量表 现今主要有以下测量方法 ．可对二维表面结 面接触进行分类 ．一般分为接触式测量仪器和非 构进行评定 。也可以对三维表面结构进行评定： 20