阿贝原则再认识 .pdfVIP

学兔兔 第33卷 第5期 仪 器 仪 表 学 报 V01．33 N0．5 2012年5月 Chinese Journal of Scientific Instrument May．2012 阿贝原则再认识术 石照耀 ，张 斌 ，费业泰 (1北京丁业大学机械_丁程与应用电子技术学院 北京 100124；2合肥工业大学仪器科学与光电工程学院 合肥 230009) 摘 要：为探究阿贝原则在现代超精密制造和测量中的适应性，回顾了古典阿贝原则及其扩展，剖析了要素布局产牛的一次误 差，研究了二维长度测量中的阿贝原则。通过分析测量系统的标准量、被测量、瞄准点、读数点、导向面5个要素的不同布局产 生的误差，发现当标准量和被测量按经典阿贝原则要求处于同一条直线上，而其余要素不在这条直线上时，也会产生一次误差。 提出了瞄准共线、读数共线、导向共线以及阿贝臂误差、瞄准臂误差、读数臂误差、导向臂误差和阿贝综合误差等概念。揭示了 阿贝原则的隐含条件，重新表述了阿贝原则。讨论了上下堆叠式和共平面式二维结构的阿贝原则适应性，提出了一种提升工具 显微镜精度的简明方案，介绍了 一种减小阿贝误差的共平面二维精密工作台。对阿贝原则的再认识，可更新设计理念，用于研 制超精密仪器和机械，也可用于经典量仪的精度再提升。 关键词：阿贝原则；一次误差；阿贝误差；二维阿贝原则 中图分类号：TB92 文献标识码：A 国家标准学科分类代码：460．2010 Re—visit to the Abbe principle Shi Zhaoyao ，Zhang Bin ，Fei Yetai (，College of Mechanical Engineering and Applied Electronics Technology，Belting University of Technology，Belting 100124，China； 2 School of Instrument Science and Opto—electronics Engineering，Hefei University of Technology，Hefei 230009，China) Abstract：To explore the adaptability of the Abbe principle in modern ultra—precision manufacturing and measure- ment，the Abbe principle and its extension are reviewed，the first order errors due to the configuration of the ele— ments are analyzed，and the Abbe principle for two dimensional length measurement is discussed．Through analyzing the errors generated by the different configurations of five elements such as reference，measurand，sensing point，ref- erence point and gu