集成生物微环境测量CMOS传感芯片研究 .pdfVIP

学兔兔 第31卷 第2期 仪 器 仪 表 学 报 Vlo1．3lNo．2 2010年2月 Chinese Journal of Scientitic Instrument Feb．2010 集成生物微环境测量CMOS传感芯片研究术 孙 颖，朱大中 (浙江大学微电子与光电子研究所 杭州 310027) 摘 要：基于标准0．6 u m CMOS工艺设计实现了单片集成可用于细胞外微环境溶液pH值和温度同时检测的混合信号生物 传感芯片。利用多层浮栅结构场效应管作为pH值传感单元，在恒流恒压电路控制下得到与pH值成反比的电压输出。pH敏 感器件与参比器件的差模输出方式有效减小了电路和溶液的噪声。pH值在1～l3范围内，传感器平均灵敏度为35．5 mV／pH， 线性度优于3．2％。芯片上还集成了与绝对温度成正比的温度传感器，可实时检测生物微环境溶液的温度变化，在25～100~C 范围内，输出线性度优于1．7％，平均灵敏度为8．8 mV／~C。此外，构建了传感芯片的原型应用电路，对传感器的输出电压进 行软件修正后以温度和pH值形式进行显示，以实现两个参数的实时监测。在25～70℃温度范围内，温度测量偏差在_o．6～+1．1℃ 以内，pH值的测龟偏差 0．3 pH。该芯片具有一定的可重用性，既可用来研究温度变化对细胞微环境溶液pH值的影响，又 可作为IP核兼容集成于相同工艺的其他传感器电路中。 关键词：生物传感芯片；pH传感器；多层浮栅场效应管 (MFGFET)；温度传感器；监测系统 中图分类号：TN432 文献标识码：A 国家标准学科分类代码：510．3040 Research on integrated CMOS biosensor chip for bio—microenvironment measurement Sun Ying， Zhu Dazhong (Institute ofMicroelectronics and Optoelectronics，Zh~iang University,Hangzhou 310027,China Abstract：A monolithic mixed signal biosensor c~rcmt for extracellular microenvironment solution pH value and temperature measurement is designed based on standard 0．6Um CMOS technology in this paper．A field effect transistor with multi-level floating gate structure is used for the pH sensor unit．Tl1e output voltage of the circuit is inversely pro· portional to the pH value under the control of a constant source—drain voltage and current module．The differential out- put mode of the pH sensitive device and pH reference device reduces the noise from the solution and circuits．Test re— sults show thatthe pH sensor has an av