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离轴非球面SiC反射镜的精密铣磨加工技术
学兔兔
第49卷第 17期 机 械 工 程 学 报 V0l1．49 N0．17
2013年 9 月 JOURNAL0FMECHANICALENGINEERING Sep． 2O13
DoI：l0．3901／ⅥE．2013．17．039
离轴非球面 SiC反射镜的精密铣磨加工技术木
张志宇 李锐钢 郑立功 张学军
(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所中国科学院光学系统
先进制造技术重点实验室 长春 130033)
摘要：离轴非球面反射镜是高分辨率、大视场空间相机的核心元件，其镜面的形状精度和表面质量要求极高，加工难度很大，
一 直是光学系统先进制造技术的瓶颈。针对国家对空间大型SiC光学元件制造技术的重大需求，开展以大口径、高陡度、大
离轴量和大偏离量为特点的离轴非球面反射镜的精密铣磨加工技术研究。开发非球面反射镜计算机辅助数控编程技术，提出
五轴联动斜轴定角度加工方式，建立旋转中心在镜面外的螺旋加工轨迹，避免镜面几何中心处的加工残留。并基于五轴加工
中心(型号DMGUltrasonic100．5)搭建超声振动辅助铣磨加工平台，以900mmx660innl口径离轴非球面SiC反射镜镜坯为
加工样件进行工艺试验，加工面形精度峰谷值(Peaktovalley,Pv)达到 18．8Ixm，方均根值 (Rootmeansquare，RMS)达到3．5 m。
研究为按照非球面方程高精度铣磨超大尺度精度比离轴非球面反射镜提供了有效的解决方案。
关键词：离轴非球面 SiC反射镜 精密磨削 CAD／CAM 加工轨迹优化 超声振动辅助加工
中图分类号：TG58
PrecisionGrindingTechnologyfortheOff-axis
AsphericalSiliconCarbideM irrorBlank
ZHANGZhiyu LIRuigang ZHENGLigong ZHANGXuejun
(KeyLaboratoryofOpticalSystemAdvancedMnaufacturingTechnology,ChnagchunInstituteofOptics，
FineMechnaicsnadPhysics，ChineseAcademyofSciences，Chnagchun130033)
Abstract：O-ffaxisasphericmirro~raethekeycomponentsinahigh-resolution，largefield-of-view spacecamera，andraeveryhrad
tomachineduetoexrtemelystrictrequirementsonshapeaccuracynadsurfacequality．Thereforeitisabottleneckofhteadvna ced
optical mnaufacturing technology．Computer-aided NC programming techniques for mirror blanks wim lrage—dima eter,
high—steepness，lrage-deviation，nad largeo-ffaxis—amountaredeveloped．Anobliquefive-axisprocessingmehtodwiht adecenter
spiraltoolpaht isproposedtoavoidhteresidualshapeerrorinhtegeometriccenterofmirrorblank．Basedonafive-axisulrtasonic
vibration-assistedmachining center,a900mmx660 111111diameteroff-axisasp
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