点衍射干涉仪系统误差标定算法研究.pdfVIP

学兔兔 第49卷第 16期 机 械 工 程 学 报 V0l1．49 NO．16 20l3年 8 月 JOURNALOFMECHANICALENGINEERING Aug． 2013 DoI：1O．3901， E．2013．16．048 点衍射干涉仪系统误差标定算法研究木 蒋庄德 1,2 高 芬 ，2 李 兵 ，2 f1．西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室 西安 710049； 2．西安交通大学机械工程学院 西安 710049) 摘要：为评估面形检测点衍射干涉仪的检测精度，提出用被检镜倾斜旋转法标定点衍射干涉仪的系统误差，研究可同时分离 出被检球面镜旋转对称及旋转非对称面形误差的标定算法。将被检球面镜绕初始光轴及相对成小角度的倾斜光轴作两次平分 角度旋转检测，利用单次平分旋转检测数据估计出被检镜面形的旋转非对称部分，利用两次旋转检测重叠区域各点系统误差 不变性构建旋转对称部分的差值方程，运用最d,z乘法求解用泽尼克多项式表述的旋转对称部分的系数，估计出的被检镜面 形的旋转对称部分，两者相加估计得被检镜的真实面形。从干涉仪测试数据中减去被检镜的真实面形数据计算得系统误差。 分析标定原理，推导标定算法公式，并仿真验证算法正确性。仿真研究结果表明，经算法估计的被检镜面形和系统误差与仿 真输入值吻合，方均根误差的差值均小于0．03nm，残差的方均根值均小于0．3nm,满足亚纳米级标定精度需求。 关键词：点衍射 面形误差 衍射波面 旋转对称 旋转非对称 中图分类号：TH774 ResearchonSystem ErrorCalibrationAlgorithm of PointDiffractionInterferometer JIANGZhangde GAOFen LIBing’ (1．StateKeyLaboratoryforManufacturingSystemsEngineering，Xi’anJiaotongUniversity,Xi’an710049； 2．SchoolofMechanicalEngineering，Xi’allJiaotongUniversiyt,Xi’an710049) Abstract：Inordertoevaluateabsoluteaccuracyofpointdiffractioninterferometer(PDI)，asystemerrorcalibrationmethodbasedon tiltingandrotationoftestmirrorisusednadcalibrationalgorithm arediscussedindetail．Calibrationformulasarededucednada verifiedsimulationisconducted．Inthemehtod，figureerro~ ofsphericaltestmirrorraemeasuredniN equalpositionaroundan initialaxisand atiltaxis．Therotationally asymmetriccomponentofrealfigureabouttestmirrorin each xaispositionCna be calculatedthroughrotationmehtod．Assystem erro~ insamecoordinateraeconstantnitworoattemeasurements，subtractonefrom na other,allequation callbeacquiredwithoutsystem errorterm．Theroattiona