光波导加速度传感器中3dB耦合器设计.pdfVIP

2014年 第33卷 第4期 传感器与微系统(TransducerandMicrosystemTechnologies) 99 光波导加速度传感器 中3dB耦合器设计 李 东，王金海，尉春华 (天津工业大学 电子与信息工程学院。天津 300387) 摘 要：光波导加速度传感器是一种实用型加速度传感器 ，目前广泛应用制备光学加速度计的迈克尔逊、 马赫一曾德等干涉仪的核心部件都包含3dB耦合器。3dB耦合器的设计对光波导加速度传感器的检测精 度尤为重要。介绍了所设计的光波导加速度传感器的工作原理，设计了3dB耦合器波导的结构和参数， 并用光学模拟软件OptiBPM对3dB耦合器进行模拟。结果表明：所设计的3dB耦合器具有 良好性能，符 合设计要求。 关键词：光波导传感器；3dB耦合器；光束传播法 中图分类号：TP212 文献标识码：A 文章编号 ：1000--9787(2014)04-0099--03 Design of3dB coupler