光纤光栅压力传感器增敏技术发展评述.pdfVIP

2011年 第30卷 第8期 传感器与微系统 (TransducerandMicrosystemTechnologies) 5 光纤光栅压力传感器增敏技术发展评述 刘鹏飞 ，刘国军 ，王永杰 ，赵 强 ，李 芳 (1．长春理工大学 高功率半导体激光器国家重点实验室，吉林 长春 130022； 2．中国科学院 半导体研究所 光 电系统实验室，北京 100083) 摘 要：光纤光栅是利用光纤的光敏特性制成的新型光无源器件，在传感方面具有许多独特的优点。但 光纤光栅本身压力灵敏度非常低 ，要想在实际测量中发挥作用 ，必须对其进行压力增敏。介绍了目前比较 流行的几种压力增敏方式，分析了它们的优缺点和用途，并对光纤光栅压力传感器的发展做出展望。 关键词：光纤光栅；压力传感器；增敏 中图分类号：TN203 文献标识码：A 文章编号：1000-9787(2011)08-0005-03 Review 0n development0ffibe