基于CPLD和TDC的微电容传感器信号检测电路设计.pdfVIP

84 传感器与微系统 (TransducerandMicrosystemTechnologies) 2012年第31卷第 1l期 基于 CPLD和 TDC的微 电容传感器信号检测 电路设计 熊丽霞，江 桥 ，杜晓松 ，周 云，吕 坚 (电子科技大学 光电信息学院。四川 成都 610054) 摘 要：针对电容传感器的工作原理，以复杂可编程逻辑器件 (CPLD)为核心 ，采用基于时间数字转换器 (TDC)技术的芯片PS021，设计了一种高精度的微小电容测量 电路。给出了PS021的测量原理和电路的 软、硬件设计。采用PS021结合 CPLD采集处理 电容信号，外围电路简洁，应用方便，软件设计通过对 PS021内部可编程寄存器的合理设置实现高精度的测量。实验结果表明：电路在 l0Hz刷新频率时能够达 到8aF的有效精度，最高刷新频率可达50kHz；电路实现了1fF~0．01aF的分辨率，有效精度位 (ENOB)可 达22位；高精度高刷新率可缓和测量速度和分辨率的矛盾，提高了微小电容的测量精度。 关键词：复杂可编程逻辑器件；时间数字转换器 ；微小电容；电容传感器；PS021 中图分类号：TP212 文献标识码 ：A 文章编号：1000-9787(2012)11-0084-03 Design ofdetectingcircuitforsignalofmicrocapacitance sensorbasedonCPLD ＆ TDC XIONGLix·ia，JIANGQiao，DUXiao—song，ZHOUYun，LOJian (SchoolofOptoelectronicInformation，StateKeyLaboratoryofElectronicThinFilmsandIntegratedDevices， UniversityofElectronicScienceandTechnologyofChina，Chengdu610054，China) Abstract：Aiming atthe work principle ofcapacitive sensor，a high—precision detecting circuitformicro— capacitancemeasurementusingcomplexprogrammablelogicdevice(CPLD)isascore，PS021isused，basedon timetodigitalconverter(TDC)technology．ThemeasurementprincipleofPS021，thedesignofcircuithardwareand softwarearepresented．PS021andCPLD areusedtoprocessthecapacitancesigna1．Itmakesthecircuitsimple andeasytoapplication．BysettingtheinternalregistersofPS021throughsoftware，highprecisionmeasurementis achieved．Theexperimentalresultsshowthatthecircuithasagoodperformancewithresolutionof8aFin10Hz updaterate，thehighestupdateratecanbeupto50kHz，theresolutionrangeslfF～0．01aF，andtheeffective numberofprecisionbits(ENOB)isupto22bits．Thehighprecisionandhighupdateratecaneasethe contradictionbetweenmeasurementspeedandresolution．Andthedesignimprovesthemeasurementprecisionof