基于PSD的静电悬浮位置测量与控制系统设计.pdfVIP

2015年 第34卷 第3期 传感器与微系统(TransducerandMicrosystemTechnologies) 97 DOI：10．13873／J．1000-9787(2015)03--0097-03 基于 PSD的静 电悬浮位置测量与控制系统设计 代 斌 ，孙志斌 ，王飞龙 ，翟光杰 (1．中国科学院 复杂航天系统电子信息技术重点实验室，空间科学与应用研究中心。北京 100190 2．中国科学院大学。北京 100190) 摘 要：建立了基于位置敏感探测器 (PSD)的静电悬浮三维位置信息测量与控制系统，分析了PSD的结 构与静电悬浮位置测量与控制原理。系统采用单片机STC12C5A60S2处理 PSD输出信号 ，得出悬浮样品 位置信息与PSD输出电压的对应关系，实现单片机与上位机的通信，对测量的位置数据进行分析、处理以 及悬浮样品位置控制。利用锆材料进行悬浮