基于多级微反射镜的傅里叶变换红外光谱仪中准直误差的.pdfVIP

2869 第31卷，第10期 光谱学与光谱分析 V01．31，No．i0，pp2865 2011 and Octobert 2011年10月 SpectralAnalysis Spectroscopy 基于多级微反射镜的傅里叶变换红外光谱仪中 准直误差的分析 吕金光1’2，梁中翥1，付建国1’2，梁静秋“ 1．中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室，吉林长春130033 2．中国科学院研究生院，北京100049 摘要通过对基于多级徽反射镜的空间调制傅里叶变换红外光谱仪准直误差的分析，模拟了准直误差的 存在而导致的干涉图大光程差处对比度反转和光谱图边频噪声的产生。讨论了在不同的误差系数下复原光 谱图的信噪比和分辨率，并且分析了干涉图大光程差处对比反转以及光谱图边频分量的产生原因。仿真结 dB，同时光谱分辨率会退化到13．4 果表明，在误差系数口=o．15。·㈣叫时，光谱的信噪比会下降到6 cm-1。本文的结论将应用于微型光谱仪系统的光学设计与装调。 关键词傅里叶变换光谱仪}准直误差；对比反转；边频噪声 中圈分类号：0433．1文献标识码：A 引言 Imaginglens 光谱仪作为对物质进行检测剖析的科学仪器，在生产生 活与科研领域中发挥着越来越大的作用，有着日益广阔的应 ，乒3 用前景。由于傅里叶变换光谱仪口]具有高光通量、多频道、 波数准确、杂散光低等优点，因而越来越受到人们的青睐。 传统的傅里叶变换光谱仪体积大、重量沉、价格昂贵等缺 点，阻碍了傅里叶变换光谱仪的普及和应用的进程，这样就 Fig．IThemodelofmicro-Fouriertransform basedOil mirrors 迫切需要微小型、轻量化、可批量化生产的傅里叶变换光谱 spectrometerstep 仪的出现1z,3]。目前，国内外许多院校与研究所开展了微型 傅里叶变换光谱仪的研究工作，其中调制方式多为时间调 利用两个具有不同阶梯常数的多级微反射镜代替传统迈 制h51；但是时间调制的傅里叶变换光谱仪由于需要一套高 克尔逊干涉仪的平面反射镜，并且两个多级微反射镜正交放 精度的动镜驱动系统，这成为其研究与发展的主要瓶颈。本 置。两个多级微反射镜的级数均为N，周期分别为d和Nd。 文在一种新型空间调制微型傅里叶变换光谱仪的原理模型的 分束器上一点分出的两束光被两个微反射镜反射后再次相遇 基础上对其准直误差进行了分析。 时，由于微反射镜的结构而产生光程差，从而携带一定的位 相信息；而分束器上不同空间点分出的光因多级微反射镜的 1基于多级微反射镜的傅里叶变换光谱仪原 结构不同而产生不同的光程差，因而携带不同的位相信息。 理 这样，在出射面上形成多个定域干