第5章（汪凯巍班）.ppt

每周案例 汽缸与活塞表面光滑一些好还是粗糙一些好？ 人工关节，光滑一些好，还是粗糙一些好？ 问题：如何对表面质量进行精确地测量以保证产品的质量和工作可靠性？ 典型表面测量系统 光电检测系统组成 * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * 图5-11 三片式柯克物镜 2. 反射式物镜 （1）单反射物镜 像质接近单透镜,但无色差，价格便宜。小孔径使用时，像质较好。 * 图5-12 球面反射镜 抛物面反射镜对无限远处轴上物点成像时无像差，只有衍射影响像质, 因此它是用于小视场的优良物镜。 * ? （a）同轴式 （b）离轴式 图5-14 抛物面反射镜的两种结构形式 二次曲面中的双曲面和椭球面均有共轭点P与P′存在，在P与P′间成像无像差存在。 * 图5-15 双曲面、椭球面的共轭关系 （2）双反射物镜 双反射物镜是由主镜和次镜组成。光束首先经主镜反射到次镜，再由次镜反射输出。 图5-16是由抛物面主镜和平面次镜构成的牛顿系统，图中（b）为牛顿补充型系统。它们的像质与单抛物面反射镜相当。适用于小视场系统中。 * （a）牛顿型 （b）牛顿补充型 图5-16 牛顿系统 图5-17所示为卡塞格伦系统，主镜为抛物面，次镜为凸双曲面，将双曲面的一个焦点P与抛物面的焦点F重合，则系统焦点将在双曲面的另一个焦点P′处，焦距f为正，成倒立实像。它比牛顿系统的轴外像差小。优点是像质好、镜筒短、焦距长、在焦点处便于放置探测器。 图5-18所示为格雷果里系统，主镜为抛物面，次镜为凹椭球面，两镜面焦点重合放置，则系统焦点在椭球的另一焦点处。该系统无球差、成正像。缺点是长度较长。 * 图5-17 卡塞格伦系统 图5-18 格雷果里系统 为克服视场小和中间挡光的缺点，也有使用如图5-19所示的四反射镜系统。 图5-20所示为一种有效的三反射镜系统，主镜是F数为1的抛物面镜；次镜为椭球面；而第三个反射镜为球面镜，它加工在主镜的中央部分。该系统可获平场的像面。 * 图5-19 四反射镜系统 图5-20 三反射镜系统 3. 折反式物镜 （1）施密特系统 其主镜是球面反射镜，单独成像时可无彗差和像散，只产生球差和场曲，为校正球差在反射镜曲率中心处，放置一块特制的非球面补偿透镜。即施密特校正板。如图5-21所示。 * 图5-21 施密特系统 （2）曼金折反系统 图5-22所示为曼金系统，由两球面构成背面反射和前面折射。它适用于大口径的折反系统中充当主镜。也可在双反射镜系统中充当次镜。如图5-23所示，主反射镜为球面，曼金次镜消色差。 * 图5-22 曼金折反系统 图5-23 曼金次镜消色差 （3）包沃斯－马克苏托夫系统 这是由包沃斯和马克苏托夫各自独立提出，用球面反射镜和厚弯月型负透镜组成的系统。如图5-24所示。厚弯月型负透镜消色差。该系统的特点是各球面同心，光阑置于公共球心处，这样无彗差和像散存在。其像面也是与各球面共心的曲面。弯月透镜可在球心前或球心后，其作用一样，在球心前称心前系统，反之称心后系统。 * 图5-24 包沃斯－马克苏托夫系统 1. 场镜 工作在物镜像面附近的透镜称为场镜。 主要作用是： (1)场镜的应用可提高边缘光束入射到探测器的能力。 (2)在相同的大光学系统中，附加场镜将减小探测器的面积。 (3)场镜的使用也使探测器光敏面上非均匀光照得以均匀化。 * （a）无场镜时的光路图 （b）有场镜时的光路图 图5-25 场镜的作用 5.3 探测器辅助光学系统 2. 光锥 非成像的聚光元件，与场镜类似可起到增加光照度或减小探测器面积的作用。 * 图5-27 光线在光锥内的传播 3. 浸没透镜 浸没透镜也是一种二次聚光元件。它主要作用是显著地缩小探测器的光敏面积，提高信噪比 * 图5-32 浸没透镜 计量光栅 光学码盘及编码 * 5.4 光电检测中的计量部件 本节主要包括以下几部分内容： 5.4.1 计量光栅（测长） 光栅是由若干通光与不通光相间的栅状条带构成的器件。 并将d1+d2= d叫作光栅常数、光栅节距或光栅栅距。 按其工作原理不同，光栅可分为两大类，即物理光栅和计量光栅。 * ? 图5-39 计量光栅 不同之处在哪里？ 1. 码盘的工作原理 光学码盘是将转角的模拟量转换为数字量(A／D)的有效工具。 * 图5-61 二进制码盘 5.4.3 光学码盘及编码 图5-62所示为五位码盘的编码表和展开图 * 图5-62 五位二进制码盘编码和展开图 二进制码盘的码道数n和码道编码容量M之间的关系为 其角度分辨率?与码道数n之间的