基于ITO衬底的电润湿显示阵列的制备.pdfVIP

学兔兔 l 甸 似 基于ITO衬底的电润湿显示阵列的制备 Thefalbricationofelectrowetting displayarraysbasedon -T0 substrate 周思远。，徐庆宇 ，肖长诗 ，王建波’ ZHOUSi-yuan。，XUQing．yu，XIAOChang．shi。，WANGJian—bo’ (1．武汉大学物理科学与技术学院 电子显微镜中,6fn人工微结构教育部重点实验室，武汉 430072； 2．东南大学物理系，南京 211189：3．武汉理工大学，武汉430070；4．南京晶奥微光电技术有限公司，南京211100) 摘 要：本文介绍了以ITO玻璃为衬底，在其导电面上依次旋涂teflon和su一8光刻胶，利用光刻制备出栅 格，在栅格中灌油并进行水下封装，制备出在直流电压控制下能够重复操作的电润湿显示阵列。 关键词：电润湿；ITO显示阵列；teflon疏水层 中图分类号 ：TH162 文献标识码；B 文章编号：1009—0134(2013)ol(7)-0092-03 Doi：10．3969／J．Issn．1009-0134．2013．01(下)．26 0 引言 其 中，7SL、7sv、7LV分别对应固液、固气、 当今社会 ，显示技术的发展El新月异，在生 液气相之间的张力，0 是固液间接触角。当在底 产和生活中占有极其重要的地位。近几年电润湿 电极上加一层固体电介质时，相当于加 了一个 电 (electrowetting)显示技术被引入视线，其基本原 容，在介质层上下加 电压就会有充电而形成面 电 理是利用电场控制微小液滴在固体介质表面的接触 荷 。又有表示界面张力与面电荷密度的李普曼 方程 J： 角的变化而实现显示。相对于 目前的主流技术，该 技术具有较低的能耗、较大的可视角度、较高的对 旦 ： 一o dV 比度等优势。因此有不少科研机构或公司，例如台 湾工研院、韩国三星公司等都对该技术进行了开拓 o即面电荷密度，哟 外加电压。对该式积分 性的工作。介于电润湿技术的优秀特性，本文尝试 得到方程： 在ITO玻璃上制作简易的电润湿显示阵列，为以后 7SL(V)=)，sL(o)一1． · Z 厶 进一步制作透射式电润湿设备做初步尝试。 1 电润湿显示的相关理论 其中，￡，为介 电层相对介电常数，z为介 电层 厚度，哟 外加偏压 。联立上式与杨氏方程得： 毫米量级液体微粒在固体介质表面的形态和 cosO =cosO +二 _r 接触角主要 由液滴和固体的表面张力决定，重力 2Z 7‘L 的影 响可以忽略。而液滴与固体介质之外的环 即为电润湿方程。当微小液滴的周围环境 由 境，无论是气体还是其他不混溶的液体，这三者