基于碳纳米管场发射的压力传感器仿真与设计.pdfVIP

2011年 第30卷 第 10期 传感器与微系统(TransducerandMicrosystemTechnologies) 123 ， 基于碳纳米管场发射的压力传感器仿真与设计 赵海涛，陈吉安，王全保，范振民 (上海交通大学 空天科学技术研究院，上海 200240) 摘 要：碳纳米管是场发射阴极的极佳材料。基于碳纳米管和金属铜的复合电镀技术 ，采用有限元软件 对压力传感器的碳纳米管布设进行了有限元仿真，使用模拟退火算法对阳极变形膜的尺寸进行了优化 ，并 设计了实现压力传感器的工艺过程。碳纳米管的管径在不影响电镀质量的情况下可尽量小，选取的长度 不影响直立，间距在 500um时可获得最大 电流。阳极膜 的压力窗最优厚度为 0．20984mm，窗 口长度 4．9178mm，此时阳极膜的变形和应力均处于最大值。通过可行性工艺的执行 ，可制造出体积小 、质量轻、 灵敏度高的压力传感器。 关键词：压力传感器；碳纳米管；复合电镀；有限元仿真；优化设计 中图分类号：TQ153 文献标识码 ：A 文章编号：1000-9787(2011)10-0123-04 i●m UI■atJl●0n anc1Ic1IeSl●2n 0InpressUre sensor D■ased1On car1DOn nan0tJUlDeS nmel■d1em i●SSl●on ：l： ZHAOHai—tao，CHENJi-an，WANGQuan—bao，FANZhen—min (SchoolofAeronauticsandAstronautics，ShanghaiJiaoTongUniversity，Shanghai200240，China) Abstract：Carbonnanotubesareexcellentmaterialsoffieldemissioncathode．Basedonthecarbonnanotubesand coppercompositeelectroplatingtechnology．Thelayoutofthecarbonnanotubesofpressuresensorsissimulated usingFEM ，thesizeoftheanodemembraneisoptimizedusingsimulationannealingalgorithm andpressuresensor processaredesignedandachieved．Inthecaseofnoaffectingtheelectroplatingquality，diameterofthecarbon nanotubescan be assmallaspossible，and withoutaffectingtheverticalforthe selectlength spacing in the maximum currentobtained with500nm．Forthepressurewindow oftheanodicfilm，theoptimalthicknessis 0．20984mm andoptimalsize4．9178lllm，atthistimeinthemaximum deofrmationandstress．Bythefeasibility implementationprocess，thepressuresensorwithsmallsize，lightweight，highsensitivitycanbeproduced． Keywords：pressuresensor；carbonnanotubes；compositeelectroplating；finiteelementsimulation；optimalde— sign 0 引 言